真空传输机器人
ELEC-RZ
真空传输机器人
ELEC-RZの導入・購入・検討について
爱发科（ULVAC）真空传送机器人ELEC-RZ系列采用磁性流体密封，可在10⁻⁶ Pa以下的压力环境中使用。此外，通过小型化的执行器设计，实现了紧凑的结构。该系列提供丰富的机械臂选项，具备卓越的通用性和高可靠性，是一款值得信赖的真空传送机器人。