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真空搬运机器人
ELEC-RZ
ELEC-RZ
アルバック
ELEC-RZ 是一款基于 COVOT 系列出色的功能和性能的小型、低成本的高真空兼容搬运机器人。
特点
- 磁流体密封用于真空密封，可使用高达 10-6Pa 的高真空。
- 执行器的小型化使其更紧凑，更容易安装在设备中。
- 根据行程、转弯半径、手数等，有多种手臂可供选择。
- 它使用具有出色操作性的多功能显示示教器。
规格
| 型 | ELEC-RZ | |
| 工作压力区域 | 气压～10-6Pa | |
| 晶圆尺寸 | 200mm/300mm | |
| 持有的晶圆数量 | 1 件/2 件 | |
| 最大范围 * | 1056mm | |
| 旋转角度 | ±210° | |
| 提升行程 | 50mm | |
| 最小旋转直径 * | 964mm 通过安装臂 | |
| 有效载荷能力（包括手） | 1kg | |
| 操作速度 | 伸缩式 | Max 2.5sec / 全行程 |
| 把 | Max 3.0sec / 180° | |
| 提升 | Max 1.5sec / 20mm | |
| 可重复位置精度 | 伸缩式 | ±0.2mm |
| 把 | ±0.3mm | |
| 提升 | ±0.3mm | |
| 示教器 | 归属感 | |
| 控制器 | 分开 | |
*取决于安装臂和手。
