冷阴极电离真空计

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冷阴极电离真空计是一种利用气体电离现象的真空计。
在真空计内部,气体分子被磁场中冷阴极放电产生的电子电离。测量数字(测量离子电流)并将其转换为压力。
也称为冷阴极规。测量压力范围与热阴极型几乎相同。

冷阴极电离真空计
SC1(日本产)/SC1-N(中国产)
G-TRAN系列是为了使各种设备的工艺控制集中化以及小型化而开发的真空计,(1)降低设备成本,(2)节省空间,(3)节省布线。
由传感器单元和显示单元的基本单元构成,可根据用途组合。