冷阴极电离真空计

SC1

SC1(日本产)/SC1-N(中国产)

アルバック

G-TRAN系列是为了使各种设备的工艺控制集中化以及小型化而开发的真空计,(1)降低设备成本,(2)节省空间,(3)节省布线。
由传感器单元和显示单元的基本单元构成,可根据用途组合。

特点

  • 测量部件和测量电路一体化集成
  • 模拟输出和设定点输出
  • 独立的模拟日志输出和设定点输出(显示单元)
  • 采用DIN标准尺寸48 x 96 mm(显示单元)

用途

  • 用于半导体,光学和电子零件制造的精密真空设备的压力范围内的过程控制
  • 低真空范围的过程控制,适用于熔解炉等工业设备
  • 具有多个工艺腔体的真空系统的压力范围内的过程控制,例如in-line式溅射设备和晶圆制造设备

规格

传感器
单元
显示单元 特征
数字 数字4CH
皮拉尼真空计 SW1 SP1 ISG1 IM1R1
IM2R1
・10-2~10+5Pa
・价格低
热的
阴极
真空计
SH2 ・5x10-8~9.9x100Pa
・测量范围广
・多离子真空计适用

阴极
真空计
SC1 ・5x10-5~1Pa
・低运行成本
电容
压力计
CCMT-D DC15V
DC24V
・陶瓷隔膜规格
・可以高精度测量低,中真空
特征 ・测定子一体型
・类似物输出
・设定点输出
・DC24V适用
・设定点3点
・查看方便LED
・4CH同时表示
・设定点8点
・节省空间

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可选部件・消耗品

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