打印・
保存产品手册
保存产品手册
皮拉尼真空计
传感器型
SP1
SP1
アルバック
传感器单元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。
特点
- 传感器规格：如果不需要压力指示器
・真空计成降低
・控制板空间节省
・配线简化 - 测定子更换更容易
- 灯丝使用耐腐蚀材料铂
- 到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
- 可以输出2个设定点
- SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出）
- 电源电压：24 VDC输入
用途
- 用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
- 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
- 用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
规格
| Type | Sensor unit |
| Model | SP1 |
| Compatible sensor head | WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 |
|
Accuracy |
±15 %（51 Pa ～760 Pa） |
| ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） | |
| ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） | |
| Operating temperature range | 10 ~ 40℃ |
| Measurement value output | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
| Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitor | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
| Control output signal | Open collector output, Negative logic |
| ERROR signal | |
| Setpoint 1/2 | |
| LED display | Power, error, set point 1, set point 2 |
| Power supply voltage | DC24V±2V, 90mA（Max.） |
| Input/Output connector | D-sub-15P（M2.6 screw） |
| Weight | 190g /0.41lb (Excluding sensor head) |
|
Standard accessories |
Input/Output connector 1pc |
| Quick manual 1pc |
IO and analog GND are not isolated from the power GND.
