皮拉尼真空计

传感器型

SP1

SP1

アルバック

传感器单元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构,能够降低成本和节省空间。

特点

  • 传感器规格:如果不需要压力指示器
    ・真空计成降低
    ・控制板空间节省
    ・配线简化
  • 测定子更换更容易
  • 灯丝使用耐腐蚀材料铂
  • 到目前为止使用的测量部件(SP1:WP-01,02,03,16)仍在使用
  • 可以输出2个设定点
  • SP1:压力为0至5 V输出(非线性输出)
  • 电源电压:24 VDC输入

用途

  • 用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
  • 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
  • 用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

规格

Type Sensor unit
Model SP1
Compatible sensor head WP-01, WP-02, WP-03, WP-16

Accuracy

±15 %(51 Pa ~760 Pa)
±30 %(10 Pa ~1000 Pa)
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa)
Operating temperature range 10 ~ 40℃
Measurement value output Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitor Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Control output signal Open collector output, Negative logic
ERROR signal
Setpoint 1/2
LED display Power, error, set point 1, set point 2
Power supply voltage DC24V±2V, 90mA(Max.)
Input/Output connector D-sub-15P(M2.6 screw)
Weight 190g /0.41lb (Excluding sensor head)

Standard accessories

Input/Output connector 1pc
Quick manual 1pc

IO and analog GND are not isolated from the power GND.

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