皮拉尼真空计

传感器型

SW1

SW1-2(日本产) / SW1-N2(中国产)

アルバック

皮拉尼真空计,可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器(传感器单元)中除去操作·显示部,最大限度凝缩精简功能,使「降成本」和「省空间」成为可能。

特点

  • 测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa
  • 抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申请专利)
  • 优异的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度均在±20%以内(日本专利第4878289号)
  • 灯丝材料·铂(Pt):由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
  • 可视化程度提高:配备可确认异常的LED
  • 一触式调整:一键式即可进行大气压力调整和零点调整
  • 维护:更换测定子更轻松
  • 适用测定子扩展:除了NW16 / 25规格外,还将Φ15/ 18规格,拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中

用途

  • 太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
  • 用于设备的低真空领域的工艺控制
  • 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
  • 用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
  • 用于有振动・冲击的各种真空排气系统

规格

Model SW1-1 SW1-2
Connectable sensor head 1 pc
Compatible sensor head SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(φ18), SWP-P15(φ15), SWP-CF16(ICF034), SWP-1S(ASME BPE sanitary 1")
Measurable pressure range 5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa(Pa(表示範囲:1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa)
Accuracy* 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±10%
5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20%
Repeatability 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2%
Sampling time 50ms 5回の移動平均処理
Value output Output voltage DC 0 to 10V
Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade
(Update time) 50ms
Control input signal Open collector input, Negative logic -
ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust) -
Control output signal

Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW]

-
Error signal -
Set point 1, 2 -
Monitor for setpoint Set point 1, 2: 0 to 10V Log output -
Serial communication type - RS232C/RS485
LED display POWER/ERROR: Power error LED
SET-1: Set point 1LED -
SET-2: Set point 2LED -
Materal of filament Pt
Operating temperature range 10 ~ 40℃
Operating humidity range 15 ~ 80% (Not condensing)
IP rating IP30 (Sensor unit)
Fixing position Free
Power supply voltage DC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input)
Input/output connector D-sub 15-pin (M2.6mm screw) - side sensor unit
Weight 150g (with SWP-16)
Dimension (Power supply) W×D×H 70mm×46mm×28mm
Standard accessories Quick manual
Option Input/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate
Applicable standard CE

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可选部件・消耗品

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