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皮拉尼真空计

SW1-2(日本产) / SW1-N2(中国产)

ULVAC

皮拉尼真空计，可以测量从大气压到5×10^-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器（传感器单元）中除去操作·显示部，最大限度凝缩精简功能，使「降成本」和「省空间」成为可能。

特点

测量范围：可以进行从大气压到5×10^-2 Pa
抗冲击性提高：具有高抗冲击性的结构设计（正在申请专利）
优异的大气压精度：无论真空计的安装位置如何，精度均在±20％以内（日本专利第4878289号）
灯丝材料·铂（Pt）：由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
可视化程度提高：配备可确认异常的LED
一触式调整：一键式即可进行大气压力调整和零点调整
维护：更换测定子更轻松
适用测定子扩展：除了NW16 / 25规格外，还将Φ15/ 18规格，拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中

用途

太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
用于设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于有振动・冲击的各种真空排气系统

规格

Model	SW1-1	SW1-2
Connectable sensor head	1 pc
Compatible sensor head	SWP-16（NW16）, SWP-25（NW25), SWP-R1/8（R1/8）, SWP-P18（φ18）, SWP-P15（φ15）, SWP-CF16（ICF034）, SWP-1S（ASME BPE sanitary 1"）
Measurable pressure range	5.0×10^-2 ~ 1.0×10⁺⁵ Pa（Pa（表示範囲：1.0×10^-2 ~ 1.2×10⁺⁵Pa）
Accuracy*	1×10^-1 Pa ~ 1×10⁺⁴ Pa ： ±10%
	5.0×10^-2 ~ 1.0×10^-1 Pa, 1×10⁺⁴ Pa ~ 1×10⁺⁵ Pa : ±20%
Repeatability	1×10^-1 Pa ~ 1×10⁺⁴ Pa : ±2%
Sampling time	50ms 5回の移動平均処理
Value output	Output voltage DC 0 to 10V
	Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade
	(Update time) 50ms
Control input signal	Open collector input, Negative logic	-
	ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust)	-
Control output signal	Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW]	-
	Error signal	-
	Set point 1, 2	-
Monitor for setpoint	Set point 1, 2: 0 to 10V Log output	-
Serial communication type	-	RS232C/RS485
LED display	POWER/ERROR: Power error LED
	SET-1: Set point 1LED	-
	SET-2: Set point 2LED	-
Materal of filament	Pt
Operating temperature range	10 ~ 40℃
Operating humidity range	15 ~ 80% (Not condensing)
IP rating	IP30 (Sensor unit)
Fixing position	Free
Power supply voltage	DC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input)
Input/output connector	D-sub 15-pin (M2.6mm screw) - side sensor unit
Weight	150g (with SWP-16)
Dimension (Power supply) W×D×H	70mm×46mm×28mm
Standard accessories	Quick manual
Option	Input/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate
Applicable standard	CE