螺杆型干泵

LS 系列

LS

アルバック

LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过独创的螺杆形状和节电技术的融合,使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。

特点

■大气压附近的排气速度最大为80m3/h,与以往的真空泵相比,排气时间可缩短约20%。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB(A)以下,
 这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级(*1)

■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。
 该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下(*2)

■LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本(*3)
■希望进一步提高排气速度的话,建议您搭配机械增压泵使用。
 通过组合使用排气速度可以达到120~1200m3/h。

(*1)LS120A-C时
(*2)C规格时
(*3)L规格还可以使用稀释气体。

LS120+DRP_speed_curve.png LS120A+DRP_time_curve.png

用途

LS系列有两种规格。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型,适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说,包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。


其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能,适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。

规格

型式 (C:C式样)
(L:L式样)
LS120A LS300A LS600A LS1200A
C L C L C L C L
最大排气速度 m3/h 120 380 600 1000
到达压力 Pa ≦0.6 ≦0.1
电源电压 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消费电力
概略值 *1
kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7
冷却水量 L/min >2.0 >4.0
Purge gas 量 *2 SLM 0~50 0~50 0~50 0~50
最大水蒸气
处理量 *3
kg/h 1.5 1.5 1.5 1.5
噪音值*1 dB(A) 61 61 62 64
吸气口 KF50(水平)/
VG50(垂直)
ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100
排气口 KF40 KF40 KF40 KF40
质量 kg 142 220 242 266
适用规格 CE、cTUVus
标准附属品 电源用连接器、防水电缆夹、信号用连接器、电源连接保护器
本体选配件 电源电压:200V级或400V级、密封部材质:全氟弹性体(仅用于L型)
外部选配件 MBP吸气口变换Flange、外壳排气Port、耐震固定用金属、LR互换Unit(吸气口、信号)、
Gas purge

*1:到达压力时
*2:C式样不可流通Purge gas
*3:Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
Note)C式样不可对应无漏

排气速度曲线

  • LS120A
    LS120_curve.png
  • LS300A
    LS300A_curve.png
  • LS600A
    LS600A.png
  • LS1200A
    LS1200A_curve.png

尺寸图

LS_size_e.png

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