螺杆型干泵

LS 系列

LS120A

アルバック

兼顾高排气速度和低能耗的干泵。有4种型号,可根据设备的大小和使用条件选择排气容量最适合的泵。

特点

大气压附近的排气速度高,可以缩短排气时间。
ECO-SHOCK技术实现低功耗(C型号)
 极限压力下的功耗为0.6 kW或更低(LS120A-C)
配有专用的消音器。极限压力下的噪音水平为61 dB(A)或更低
无需先前所需要的轴封气体。※L型可以使用稀释气体。
排气速度120-1200 m3 / h级 ※可与机械增压泵结合使用可以根据应用选择最佳排气能力的型号

用途

 C 规格:清洁工艺 (LS***A-C)
   特征:低功耗型,内置ECO-SHOCK
   用途:用于清洁气体排气,如空气排气和N2排气
        溅射/蒸发/贴合/load lock室/TMP辅助等等
 L 规格:轻工艺(LS***A-L)
   特征:具有表面处理和清洗功能的轻工艺类型
   用途:用于轻工艺,如水蒸气和挥发性化学液体排气
        真空干燥/冷冻干燥/尘化/一般产业用途 等等

规格

Model

(C:C Type)
(L:L Type)

LS120A LS300A LS600A LS1200A
C L C L C L C L
Max. pumping speed m3/h 120 380 600 1000
Ultimate pressure Pa ≦0.6 ≦0.1
Power supply 200V Class : 3Phase, 50/60Hz, AC200-240V or 400V Class : 3Phase, 50/60Hz, AC380-480V
Power consumption ※1 kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7
Cooling water flow rate L/min >2.0 >4.0
Purge gas flow rate ※2 SLM 0~50 0~50 0~50 0~50
Max. water vapor tolerance ※3 kg/h 1.5 1.5 1.5 1.5
Noise dB(A) 61 61 62 64
Inlet port KF50(Horizontal)/VG50(Vertical) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100
Outlet port KF40
Weight kg 142 220 242 266
Applicable standard CE, cTUVus
Standard accessory Instruction manual(CD-R), Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector
Pump head option Power supply : 200V Class or 400V Class, Material of seal : FFKM(L type only)
External option MBP inlet flange adaptor, Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

※1: At ultimate pressure (reference only)  ※2:Purge gas is not available with C Type. ※3: Max.water vapor tolerance is a value when purge gas is used. ※4:C type is not leakless.

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