MS

アルバック

MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

特点

型式		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排气速度 *1	m³/h	115	560	980
到达压力	Pa	≦0.6	≦0.1
电源电压		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
冷却水量	L/min	>4.0
Purge gas量 *1	SLM	0~50
最大水蒸气处理量 13	kg/h	1.5
噪音值　*1	dB(A)	61	62	64
吸气口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
排气口		KF40
质量 *4	kg	139	241	264
适用规格		CE、cTUVus
标准附属品		Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本体选配件		Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM
外部选配件		Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到达压力时
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
*4：Including a silencer

MS120A	MA600A
MS1200A

用途

半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

规格

型式		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排气速度 *1	m³/h	115	560	980
到达压力	Pa	≦0.6	≦0.1
电源电压		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
冷却水量	L/min	>4.0
Purge gas量 *1	SLM	0~50
最大水蒸气处理量 13	kg/h	1.5
噪音值　*1	dB(A)	61	62	64
吸气口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
排气口		KF40
质量 *4	kg	139	241	264
适用规格		CE、cTUVus
标准附属品		Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本体选配件		Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM
外部选配件		Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到达压力时
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
*4：Including a silencer