罗茨泵

PMBーD 系列

PMB-D

アルバック

PMB系列Ver.D是通用型罗茨泵。可以选择表面处理或大气压驱动型,可以在空冷下运转。

特点

  • 通过安装空冷逆变器,可在整个压力范围内进行空冷运作。
  • 可选多电压电机(200V级,多电压)
    与通用电机兼容,因此也可以安装防爆电机(选件)。
  • 表面处理,具有优异的耐腐蚀性(选项:T型)
    主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。
  • 大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间
    可以与粗抽泵同时启动,与标准型相比,可以减少排气时间。

用途

  • 蒸着、溅射、离子电镀
  • 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
  • 分析设备、检漏设备
  • 气体置换、充填、真空隔断
  • 热处理炉、溶解炉
  • 其他各种真空设备

规格

型号*1 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D
最大排气速度 50
Hz
m3/h
(L/min)
95
(1,580)
280
(4,670)
500
(8,330)
1,000
(16,667)
2,000
(33330)
2,500
(41,667)
60
Hz
115
(1,920)
330
(5,500)
600
(10,000)
1200
(20,000)
2,400
(40,000)
3,100
(51,667)
最大吸氣壓力 50
Hz
Pa 9.3×103 1.2×103 1.3×103 2.0×103/8.0×102
60
Hz
6.2×103 9.3×102 1.1×103 1.5×103/6.7×102
最大允許壓差 50
Hz
Pa 8.0×103 4.0×103 7.3×103 3.5×103/4.7×103
60
Hz
5.6×103 3.3×103 6.0×103 3.0×103/4.7×103
到达压力 *2 Pa 4.0×10-1 6.7×10-1
容許驅動壓力 Pa ~1.0×105 ( 大气压开始型 )
电机
*3
出力 kW
(poles)
0.4(2) 0.75(2) 2.2(2) 3.7(2) 7.5(2)
200V 級 50
Hz
V 200
60
Hz
200/220
多电压
电机
50
Hz
V 220~240 / 380~415 200~240/380~415
60
Hz
208~240 / 380~460 200~240/380~460
液压油 *4 ULVOIL R-42
油量 L 0.35 0.7 1.5 1.9 4
冷卻方式 *5 空冷 空冷 / 水冷
冷却水 一次側壓力 Mpa 0.3
吸气/
排气口壓差量
Mpa 0.05
冷却水量 L/min 2 3
水温 *6 5~30
吸气口 JIS B 2290 VG50 相当 VG80 相当 VG100 相当 VG200 相当
排气口 JIS-B-2290 VF50 相当 VF80 相当 VF200 相当
外直径(尺寸) mm 267×576×180 321×685×260 362×784×320 417×970×340 520×1260×460
重量 *7 kg 26 51 82 115 260
標準粗抽泵 VD401 VD601 VD901 VS2401 PKS-070B VS650B
符合规格 CE, cTUVus
选配件 未经表面处理的泵,紧定法兰,大气压启动类型(逆变器),
合成油或氟油类型,润滑腔排空口,不同电压电机
大气压驱动变频器规格/
电压兼容
200V
I2,A2/200V~240V(50Hz/60Hz)
400V
I4,A4/380V~480V(50Hz/60Hz)

Note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
  4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 标准产品没有表面处理(阳极氧化涂层)。您也可以选择表面处理作为选项。
*2 用皮拉尼真空计测定。 测量条件 : 标准后备泵和标准真空油。
  ( 使用 McLeod 真空计测量时约为 4.0×10-2 Pa。)
*3 只有 PMB100D 可以选择 200V级或多电压的电动机。 不能使用防爆电动机的多电压选择。
*4 空冷式的使用油是R-72。还可选矿物油R-72、合成油R-7000、氟油J25F。
*5 通过选择变频器安装型号,将能够在整个压力范围内运行。
  订购变频器规格时,请指定空冷或水冷规格。水冷逆变器无法进行空冷运行。
  对于PMB600D,1200D和2400D,在300 Pa至4,000 Pa的压力范围内连续运行超过1小时可能会损坏泵。
  在这种情况下,请选择水冷规格。
*6 在无结露的环境中使用。
*7 有关其他尺寸,请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。

排气速度曲线

  • Without InverterWithout Inverter1_curve.png
  • Without InverterWithout Inverter2_curve.png
  • With Inverter : Air cooled With Inverter/Air cooled1_curve.png
  • With Inverter : Air cooledWith Inverter/Air cooled2_curve.png
  • With Inverter : Water cooled
    With Inverter/Water cooled1_curve.png
  • With Inverter : Water cooledWith Inverter/Water cooled2_curve.png

尺寸图

PMB-D_size_en.png

  PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D
W 267 321 362 417 520
D 576 685 784 970 1260
H 180 260 320 340 460

下载

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