罗茨泵

PRC 系列

PRC-003A

アルバック

PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机,不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。

特点

  • 无油
    由于没有润滑油,因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽,也可以具有稳定性。
  • 采用密封电机
    通过采用密封电机,可以不需要大气/真空机械密封。 可以在没有漏油的清洁环境中使用。
  • 表面处理,具有优异的耐腐蚀性
    主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 还提供可选的表面处理。
  • 大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间
    可以与粗抽泵同时启动,与标准型相比,可以减少排气时间。

用途

  • 蒸着、溅射、离子电镀
  • 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
  • 分析设备、检漏设备
  • 气体置换、充填、真空隔断
  • 热处理炉、溶解炉
  • 其他各种真空设备

规格

Model
PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
Maximum pumping speed 50Hz m3/h
(L/min)
280(4670) 500(8330) 1000(16700) 1500(25000)
60Hz 330(5500) 600(10000) 1200(20000) 1800(30000)
Maximum suction pressure 50Hz Pa 1.2 x 103 1.3 x 103 1.2 x 103
60Hz 9.3 x 102 1.1 x 103 9.3 x 102
Maximum allowable differential pressure 50Hz Pa 4.0 x 103 7.3 x 103 4.3 x 103
60Hz 3.3 x 103 6.0 x 103 3.2 x 103
Ultimate pressure *1 Pa 4.0 x 10-1 6.7 x 10-1
Allowable drive pressure Pa ~1.0 x 105(atmospheric pressure start type)
Motor *2 kW 0.75(2) 2.2(2) 3.7(2) 5.5(2)
Oil *3 ULVOIL R-4
Oil quantity L 0.7 1.5 1.9
Cooling method Water cooling
Cooling water Primary side pressure MPa 0.3
Inlet/outlet differential pressure Volume MPa 0.01<
Inlet/outlet differential pressure Volume L/min 2 3
Temprature *4 5 ~ 30
Inlet port JIS-B-2290 VG80 / ISO80F(optional) VG80(optional) VG150(optional)
Outlet port JIS-B-2290 VF80(optional) VF100(optional)
Dimension(W×D×H) mm 296×575×260 356×619×320 406×759×340 406×989×340
Weight total kg 51 86 118 150
Standard roughing pump *5 VD601 VD901 VS1501 VS2401
Optional adapter flange, atmospheric pressure start type (Inverter), lubrication oil, lubrication chamber evacuation

note)
*1 Measured by Pirani vacuum gauge. It will be about 4.0 x 10-2Pa when measured by MacLeod vacuum gauge.
*2 AC200V (50Hz/60Hz), AC220V (60Hz), 3Phase. Other voltage is available upon request.
*3 Fluorine oil (J25F) is selectable as option
*4 Please use it in the environment of no be dewy when the temperature of cooling water is low.
*5 Performance of these pumps could change depending on roughing pump. Above data is based on standard roughing pump.

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可选部件・消耗品

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