罗茨泵

PRC 系列

PRC

アルバック

PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机,不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。

特点

  • 无油
    由于没有润滑油,因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽,也可以具有稳定性。
  • 采用密封电机
    通过采用密封电机,可以不需要大气/真空机械密封。 可以在没有漏油的清洁环境中使用。
  • 表面处理,具有优异的耐腐蚀性
    主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 还提供可选的表面处理。
  • 大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间
    可以与粗抽泵同时启动,与标准型相比,可以减少排气时间。

用途

  • 蒸着、溅射、离子电镀
  • 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
  • 分析设备、检漏设备
  • 气体置换、充填、真空隔断
  • 热处理炉、溶解炉
  • 其他各种真空设备

规格

型号 *1 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
最大排气速度 50Hz 280 m3/h
(4670 L/min)
500 m3/h
(8330 L/min)
1000 m3/h
(16700 L/min)
1500 m3 /h
(25000 L/min)
60Hz 330 m3/h
(5500 L/min)
600 m3/h
(10000 L/min)
1200 m3/h
(20000 L/min)
1800 m3/h
(30000 L/min)
最大吸氣壓力 50Hz 1.2 x 103 Pa 1.3 x 103 Pa 1.2 x 103 Pa
60Hz 9.3 x 102 Pa 1.1 x 103 Pa 9.3 x 102 Pa

最大允許壓差

50Hz 4.0 x 103 Pa 7.3 x 103 Pa 4.3 x 103 Pa
60Hz 3.3 x 103 Pa 6.0 x 103 Pa 3.2 x 103 Pa
到达压力 *2 4.0 x 10-1 Pa 6.7 x 10-1 Pa
容許驅動壓力 ~1.0 x 105 Pa(大气压开始型)
电机 *3 电机类型 密封三相感应电动机
高效率等級
出力 0.75 kW( 2极数 ) 2.2 kW( 2极数 ) 3.7 kW ( 2极数 ) 5.5 kW( 2极数 )
电压
(200V系统)
50Hz 200 V
60Hz 200/220 V
液压油 *4
ULVOIL R-42
油量  0.7 L 1.5 L 1.9 L
冷卻方式 水冷
冷却水 一次側壓力 0.3 Mpa
吸气/排气口壓差量 0.01 Mpa以上
冷却水量 2 L/min 32 L/min
冷却水温 *5 5 ~ 30 ℃
吸气口 JIS-B-2290 VF80 相当 /
ISO80F 或 ISO100F (可選)
VG100 相当 /
ISO100F (可選)
VG150 相当 /
ISO160F (可選)
排气口 JIS-B-2290 VF80 相当 /
ISO80F 或 ISO100F (可選)
VF100 相当 /
ISO100F (可選)
外直径(尺寸) W×D×H *6 296×575×260
mm
356×619×320
mm
406×759×340
mm
406×989×340
mm
重量 51 kg 86 kg 118 kg 150 kg
標準粗抽泵 VD601 VD901
VS2401
VS2401
符合规格 -
标准附属品 泵所需油量,使用说明书
选配件 未经表面处理的泵,紧定法兰,大气压启动类型(逆变器),
合成油或氟油类型,润滑腔排空口,不同电压电机

note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
  4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 标准模型带有表面处理 (阳极氧化涂层)。 可选地,无需表面处理模型就可以选择。
*2 用皮拉尼真空计测定。 (测量条件 : 标准后备泵和标准真空油。)
*3 不能选配安全增强型防爆型和耐压防爆型法兰电机。
*4 油选项:可选择氟油(J25F)类型,请与我们联系。
*5 在无结露的环境中使用。
*6 有关其他尺寸,请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。

排气速度曲线

PRC-003A/006APRC-003A,006A_curve.png PRC-012A/018APRC-012A,018A_curve.png

尺寸图

PRC_size.png
  PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
W 296 356 406 406
D 575 619 759 989
H 260 320 340 340

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