多级罗茨型干泵

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多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。
在FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高良率和可维护性。最具代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。

多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子，它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触，或者转子与壳体不接触，并且在保持小间隙的同时旋转以传送和压缩气体。转子具有多级结构，将其压缩至大气压，并将其排放到大气中。转子外壳内不使用油或其他密封液体，可实现清洁排气。齿轮和轴承使用油进行润滑，但设计了密封结构以防止油进入壳体。

多级罗茨型干泵

Model:HR

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

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多级罗茨型干泵

Model:LR

通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

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多级罗茨型干泵

Model:GR

干泵"Model:GR"是以获得良好业绩和信赖的"Model:LR/HR"为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。

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多级罗茨型干泵

Model:CR

干泵"Model:CR"VerB是获得国际标准（CE,cTUVus）的空冷式罗茨型干泵。排气室内不使用真空油，因转子和汽缸是不接触的，可长时间稳定运转。

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多级罗茨型干泵

Model:RS

当使用干泵时可选配，用于降低排气噪音。

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多级罗茨型干泵

Model:ECO-SHOCK

ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上，从而实现大幅省电的划时代部件。

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多级罗茨型干泵

Model:RDA-281H

•大排气量、小型尺寸。
•不会发生真空油的返流和油雾。
•无摩擦部分、长寿命。

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多级罗茨型干泵

Model:RDA-501H

•大排气量、小型尺寸。
•不会发生真空油的返流和油雾。
•无摩擦部分、长寿命。

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