多级罗茨型干泵

GR 系列

GR60A

アルバック

干泵GR系列是以获得良好业绩和信赖的LR/HR系列为基础设计的,面向一般产业设计的简单结构的泵。

特点

  • 可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域,可在高负荷下持续使用。
  • 适用load lock室(装载/卸载室),可实现高吞吐量。
  • 感应电机可通用
  • 可以安装防爆电机等特殊电机(可选)
  • 采用多电压兼容电机
    *订购时请选择200V级电机和多电压电机(GR180A为普通电机)

用途

  • 空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
  • 各种成膜设备放入取出室的真空排气
  • 真空干燥,真空气体置换和真空脱泡等一般产业
  • 真空气体置换,如真空热隔绝和气体填充

规格

型号

GR60A GR90A GR180A
Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz
最大排气速度 m3/h 62 80 112 126 183 237
L/min 1030 1333 1860 2100 3100 3950
cfm 36.4 47.1 65.7 74.2 109.5 139.5

极限压力

5.0Pa *1
3.7 x 10-2Torr *1
5.0 x 10-2mbar *1
最大排气压力(吸入圧力) 大气压
最大排气口压力(排出圧力) 1.0Pa 大气压
7.5 x 10-3Pa 大气压
1.0 x 10-2mbar大气压
吸气口(CE标准) VG50 or ISO63F Equivalent to VG80 or ISO80F
排气口 NW40
DRP表面处理 Standard option
质量 128kg 188kg 268kg

冷却水

冷却水一次供给圧力 0.1 to 0.3MPa
14.5 to 43.5psi
冷却水出入口差圧 >0.1MPa
>14.5psi
冷却水温度 10 to 30oC *2
50 to 86℃
冷却水流量 >5.0L/m
氮气
一次侧供给圧力
0.1 to 0.5MPa
14.5 to 72.5psi

二次侧调整圧力 *3

0.05 to 0.1 (运作时)
7.3 to 14.5psi
Shaft
5SLM *4

*1 极限压力是氮气(轴封气体)为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气(轴封气体)的流量固定为5.0SLM。

电机规格
 请购时请从下表中选择电机。 (GR180A为通用)

型号 GR60A
可选电机 200V级电机 多电压电机
频率 Hz 50 60 50 60 50 60
电压 V 200 200 220 220 240 208 220 240 380 400 415 380 440 460
额定电流 A 9.2 8.8 8.1 8.1 8.1 8.5 8.1 7.4 4.8 4.8 4.7 4.6 4.3 4.1
布线 三角形 三角形 三角形

型号 GR90A
可选电机 200V级电机 多电压电机
频率 Hz 50 60 50 60 50 60
电压 V 200 200 220 220 240 208 220 240 380 400 415 380 440 460
额定电流 A 14.2 14.1 12.8 12.8 12.7 13.4 12.8 11.8 7.5 7.4 7.3 7.3 7 6.3
布线 三角形 三角形 三角形

型号
GR180A
可选电机 该泵可使用通用的多电压电机
频率
Hz
50
60
50
60
电压
V
200
200
240
200
208
220
240
380
400
415
380
440
460
额定电流 A 26.1 25.1 25.7 26.3 24.9 23.9 22.5 14.5 14.7 14.9 13.9 13.3 12.5
布线 三角形 三角形

GR.jpg

■消音器 (选项)

型号 材质 表面处理 重量(kg) 法兰接口
RS-01 SUS304 GBB处理 4.1 NW40
RS-02 SUS304 GBB处理 8.3 NW40

适用型号表

套件类型 适用型号 卡箍 外圈 连接配管 支架
RS-01 套件A GR60,GR90 1 1 - -
RS-01 套件C GR180A 2 2 1 1

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