多级罗茨型干泵

节电配件

ECO-SHOCK:ES10

アルバック

ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上,从而实现大幅省电的划时代部件。

特点

  • 干泵的耗电量最大可以减少80%(与弊社产品相比)
  • 在所有压力范围内,排气速度均不会下降
  • 设置简单

用途

  • 用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵
  • 溅射设备等的loading/unloading室用的干泵

规格

型号 ES10
电源 规格 AC100~220V 50/60Hz 1phase
功耗 65W(干泵的使用工艺气体、吹扫气体 0 Pa・m3/s)
控制 输入 Remote start/stop (接点 DC24V 电压)
接点容量 2.0A 以上请无电压接点
输出 过电流报警输出(接点 无电圧)
接点容量:DC24V 1.0A
操作 手动启动开关
显示 运作时间显示
外观 尺寸 本体单元:175mm×310mm×240mm
阀单元:Φ66mm×110mm(NW40)
重量 本体单元:8.3kg 阀单元:800g
连接 连端口 G1/4" (INLET、OUTLET) 已安装连接器
推荐配管 Φ6.53mm以上 长:3m以下

厂商 ULVAC
型号名称 LR60 LR90 LR180
排气速度 *1 1300L/min 2100L/min 3980L/min
实测功耗  *2 2.1kW 3.6kW 6.6kW
Measured power consumption
ECO-SHOCK安装后的实测功耗*2 *3 *4
0.7kW 1.0kW 1.6kW
电力消减率 67% 72% 76%

*1 电源频率60Hz*1 电源频率60Hz
*2 功耗为极限压力时的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封气体、吹扫气体流量0Pa・m3/s时。取决于密封气体、吹扫气体流量

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