油回转真空泵

VD 系列

VD

アルバック

VD系列是配备了ULVAC独创的多电压电机的双级旋片式直驱油旋转真空泵。

双级旋转叶片式油回转真空泵能达到较低的极限压力,优化设计实现了泵的低噪音运行,配件种类充实,用途非常广泛。

特点

  • 采用ULVAC原装多电压电机
    支持200至240 V / 380至460 V的宽幅电压。
  • 采用强制加油方式
    即使在大气压附近,排气速度也是稳定的。 大气和真空间反复切换的最佳选择。
  • 特殊用途也可应用。
    除了标准型号,我们还提供特殊应用的型号。

類型 適用機型 主密封材料 加油機獨立加油 氦氣洩漏測試
標準規格 VD30C, VD40C, VD60C, VD90C 氟橡膠 × ×
A 規格 VD30C-A, VD40C-A 丁腈橡膠 × ×
B 規格 VD30C-B, VD40C-B 矽橡膠 ×
H 規格 VD30C-H, VD40C-H, VD60C-H, VD90C-H 氟橡膠

用途

  • 蒸发设备・溅射设备・离子镀膜设备
  • 分析设备・检漏设备
  • 气体交换・液体注入
  • 真空干燥・冷冻干燥・真空脱气・真空隔热
  • 真空吸附・真空成型
  • 其他各种真空设备

规格

型号 VD30C VD40C VD60C VD90C
设计排气速度 50Hz 30 m3/h/
(500 L/min)
40 m3/h/
(670 L/min)
60 m3/h/
(1000 L/min)
90 m3/h/
(1500 L/min)
60Hz 36 m3/h/
(600 L/min)
48 m3/h/
(800 L/min)
72 m3/h/
(1200 L/min)
108 m3/h/
(1800 L/min)
到达压力 *1 GP 关 ≦ 0.67 Pa
GP 开 ≦ 6.7 Pa
最大水蒸气
允许压力
GP 开 50Hz 1300 Pa 1360 Pa 1320 Pa 970 Pa
60Hz 1400 Pa 1760 Pa 2800 Pa 2820Pa *2
最大水蒸气
容量
GP 开 50Hz 190 g/h 270 g/h 430 g/h 480 g/h
60Hz 250 g/h 410 g/h 1100 g/h 1650 g/h *2
电机 *3 电机类型 全封闭外扇形三相感应电动机
高效率等級 IE3
出力 1.5 kW(4 极数) 1.5 kW(4 极数) 2.2 kW(4 极数) 3.7 kW(4 极数)
电压 50Hz 200 ~ 240 /380 ~ 415 V
60Hz 200 ~ 240 /380 ~ 460 V
使用油 ULVOIL R-72
油量 1.0 ~ 2.5 L 2.5 ~ 4.0 L
冷却方式 空冷 Air cooled
吸气口
JIS B 2290
( ISO KF )
VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 ) VG50 ( 选配件 KF50 相当 )
排气口
JIS B 2290
( ISO KF )
VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 )
外形尺寸 WxDxH 210×660×
324mm
210×680×
324mm
280×761×
371mm
280×831×
371mm
重量 58kg 60kg 90kg 113kg
符合规格 CE
标准附属品 泵所需油量
推荐的油雾收集器
( Optional ) *4
TM201 : 低负载运行 TM401 : 低负载运行
TM401 : 高负荷运行 TM-2 ( VD ) : 高负荷运行
选配件

油雾收集器,各种油,气镇阀,ISO法兰,增加了防爆电机,特殊应用的耐压防爆电机
( A规格,B规格,H规格 )

Note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
  6.7 Pa = 5 × 10-2 Torr
*1 用皮拉尼真空计测定。 (使用 McLeod真空计测量时约为 6.7 x 10-2 Pa 。)
*2 VD90C无法在 1,000 Pa 或更高的压力下连续运行。连续运行的最大处理量为 1,000 (Pa) / 600 (g/h)。
*3 出厂设置为 200V 级 Δdelta 连接。 如果工作电压为 400V 级,请更改为 Y型连接。
*4 高负荷运转是指在短时间内反复抽出大气 ⇔ 真空,并在 10,000 Pa 或更高的压力下长期运转。

型号
VD151 VD201
设计排气速度 50Hz 14.4 m3/h/
(240 L/min)
20.2 m3/h/
(336 L/min)
60Hz 17.3 m3/h/
(288 L/min)
24.2 m3/h/
(403 L/min)
到达压力 *1 GP 关 ≦ 0.67 Pa
GP 开 ≦ 6.7 Pa
最大水蒸气允许压力 GP 开 500 Pa 1300 Pa
最大水蒸气容量 GP 开 40 g/h 138 g/h
电机 电机类型 全封闭外扇形三相感应电动机
高效率等級 IE2 *3 IE3
出力 0.55 kW(4 极数) 0.7 kW(4 极数)
电压 50Hz 200 ~ 240 / 380 ~ 415 V
60Hz 200 ~ 240 / 380 ~ 460 V
使用油 ULVOIL R-72
油量 Oil 0.7 ~ 1.1
冷却方式 空冷
吸气口 KF25 相当
排气口 G1
外形尺寸 WxDxH 170×514×240 mm 170×536×265 mm
重量 29 kg 34 kg
符合规格 CE / cTUVus
标准附属品 油雾收集器
推荐的油雾收集器 ( 可选 ) TMX-1 + 转接法兰

选配件

油雾收集器

Note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
   6.7 Pa = 5 × 10-2Torr
*1  用皮拉尼真空计测定。 (使用 McLeod真空计测量时约为 6.7 x 10-2 Pa 。)
*2  出厂设置为 200V 级 Δdelta 连接。 如果工作电压为 400V 级,请更改为 Y型连接。
*3  高效调节不适用于此电机。

排气速度曲线

  • VD30C,VD40CVD30C,VD40C_curve.png
  • VD60C,VD90CVD60C,VD90C_curve.png
  • VD151,VD201DV151,VD201_curve.png

尺寸图

  • VD30C,VD40C,VD60C,VD90CVD30C,40C,60C,90C_en_size.png
  • VD151,VD201VD151,201_en_size.png

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