VD

アルバック

VD系列是配备了ULVAC独创的多电压电机的双级旋片式直驱油旋转真空泵。

双级旋转叶片式油回转真空泵能达到较低的极限压力，优化设计实现了泵的低噪音运行，配件种类充实，用途非常广泛。

特点

采用ULVAC原装多电压电机
支持200至240 V / 380至460 V的宽幅电压。
采用强制加油方式
即使在大气压附近，排气速度也是稳定的。大气和真空间反复切换的最佳选择。
特殊用途也可应用。
除了标准型号，我们还提供特殊应用的型号。

類型	適用機型	主密封材料	加油機獨立加油	氦氣洩漏測試
標準規格	VD30C, VD40C, VD60C, VD90C	氟橡膠	×	×
N 規格	VD30C-N, VD40C-N	丁腈橡膠	×	×
B 規格	VD30C-B, VD40C-B	矽橡膠	○	×
H 規格	VD30C-H, VD40C-H, VD60C-H, VD90C-H	氟橡膠	○	○

用途

蒸发设备・溅射设备・离子镀膜设备
分析设备・检漏设备
气体交换・液体注入
真空干燥・冷冻干燥・真空脱气・真空隔热
真空吸附・真空成型
其他各种真空设备

规格

型号			VD30C	VD40C	VD60C	VD90C
设计排气速度		50Hz	30 m³/h/ (500 L/min)	40 m³/h/ (670 L/min)	60 m³/h/ (1000 L/min)	90 m³/h/ (1500 L/min)
		60Hz	36 m³/h/ (600 L/min)	48 m³/h/ (800 L/min)	72 m³/h/ (1200 L/min)	108 m³/h/ (1800 L/min)
到达压力 *1	GP 关		≦ 0.67 Pa
	GP 开		≦ 6.7 Pa
最大水蒸气允许压力	GP 开	50Hz	1300 Pa	1360 Pa	1320 Pa	970 Pa
		60Hz	1400 Pa	1760 Pa	2800 Pa	2820Pa *2
最大水蒸气容量	GP 开	50Hz	190 g/h	270 g/h	430 g/h	480 g/h
		60Hz	250 g/h	410 g/h	1100 g/h	1650 g/h *2
电机 *3	电机类型		全封闭外扇形三相感应电动机
	高效率等級		IE3
	出力		1.5 kW(4 极数)	1.5 kW(4 极数)	2.2 kW(4 极数)	3.7 kW(4 极数)
	电压	50Hz	200 ～ 240 /380 ～ 415 V
		60Hz	200 ～ 240 /380 ～ 460 V
使用油			ULVOIL R-72
油量			1.0 ～ 2.5 L		2.5 ～ 4.0 L
冷却方式			空冷 Air cooled
吸气口 JIS B 2290 ( ISO KF )			VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 )		VG50 ( 选配件 KF50 相当 )
排气口 JIS B 2290 ( ISO KF )			VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 )
外形尺寸 WxDxH			210×660× 324mm	210×680× 324mm	280×761× 371mm	280×831× 371mm
重量			58kg	60kg	90kg	113kg
符合规格			CE
标准附属品			泵所需油量
推荐的油雾收集器 ( Optional ) *4			TM201 ：低负载运行		TM401 ：低负载运行
			TM401 ：高负荷运行		TM-2 ( VD ) ：高负荷运行
选配件			油雾收集器，各种油，气镇阀，ISO法兰，增加了防爆电机，特殊应用的耐压防爆电机 ( A规格，B规格，H规格 )

Note)此目录使用 SI单位系统。使用非 SI单位制的转换如下。
　　6.7 Pa = 5 × 10^-2 Torr
*1 用皮拉尼真空计测定。 (使用 McLeod真空计测量时约为 6.7 x 10^-2 Pa 。)
*2　VD90C无法在 1,000 Pa 或更高的压力下连续运行。连续运行的最大处理量为 1,000 (Pa) / 600 (g/h)。
*3　出厂设置为 200V 级 Δdelta 连接。如果工作电压为 400V 级，请更改为 Y型连接。
*4　高负荷运转是指在短时间内反复抽出大气 ⇔ 真空，并在 10,000 Pa 或更高的压力下长期运转。

排气速度曲线

VD30C,VD40C

VD60C,VD90C

尺寸图

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可选部件・消耗品

VD 系列

真空泵用油 R-72 油雾捕集器 TMX-1(日本产) / TMN151(中国产) 油雾捕集器 TM201(日本产) / TMN201(中国产) 油雾捕集器 TM-2 油雾捕集器 TM-2F

规格

型号			VD30C	VD40C	VD60C	VD90C
设计排气速度		50Hz	30 m³/h/ (500 L/min)	40 m³/h/ (670 L/min)	60 m³/h/ (1000 L/min)	90 m³/h/ (1500 L/min)
		60Hz	36 m³/h/ (600 L/min)	48 m³/h/ (800 L/min)	72 m³/h/ (1200 L/min)	108 m³/h/ (1800 L/min)
到达压力 *1	GP 关		≦ 0.67 Pa
	GP 开		≦ 6.7 Pa
最大水蒸气允许压力	GP 开	50Hz	1300 Pa	1360 Pa	1320 Pa	970 Pa
		60Hz	1400 Pa	1760 Pa	2800 Pa	2820Pa *2
最大水蒸气容量	GP 开	50Hz	190 g/h	270 g/h	430 g/h	480 g/h
		60Hz	250 g/h	410 g/h	1100 g/h	1650 g/h *2
电机 *3	电机类型		全封闭外扇形三相感应电动机
	高效率等級		IE3
	出力		1.5 kW(4 极数)	1.5 kW(4 极数)	2.2 kW(4 极数)	3.7 kW(4 极数)
	电压	50Hz	200 ～ 240 /380 ～ 415 V
		60Hz	200 ～ 240 /380 ～ 460 V
使用油			ULVOIL R-72
油量			1.0 ～ 2.5 L		2.5 ～ 4.0 L
冷却方式			空冷 Air cooled
吸气口 JIS B 2290 ( ISO KF )			VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 )		VG50 ( 选配件 KF50 相当 )
排气口 JIS B 2290 ( ISO KF )			VG40 相当 ( 选配件 KF40 相当 )
外形尺寸 WxDxH			210×660× 324mm	210×680× 324mm	280×761× 371mm	280×831× 371mm
重量			58kg	60kg	90kg	113kg
符合规格			CE
标准附属品			泵所需油量
推荐的油雾收集器 ( Optional ) *4			TM201 ：低负载运行		TM401 ：低负载运行
			TM401 ：高负荷运行		TM-2 ( VD ) ：高负荷运行
选配件			油雾收集器，各种油，气镇阀，ISO法兰，增加了防爆电机，特殊应用的耐压防爆电机 ( A规格，B规格，H规格 )