油回转真空泵
VS 系列
VS
アルバック
VS系列是单级旋转叶片油旋转真空泵,配有直驱电机。VS系列是单级旋转叶片油旋转真空泵,配有直驱电机。
VS1501/VS2401 :通过简化构造,实现了小型化、轻量化,并且大幅度降低了振动,因此可以减少安装成本。同时,因为强化了油循环系统和冷却水系统,高吸入压的排气性能稳定。有广泛的应用领域,尤其适用于反复排气次数多的工艺。
VS650B/VS750B :大排气量可以得到稳定的排气性能,低振动可以减少安装时基础施工等带来的成本。同时,冷却方式可以选择空冷或者水冷,可根据安装环境选择。
特点
采用高效率(IE3)宽电压电机:200to240V/380to460V的宽领域电压用一个电机对应。采用高效率(IE3)宽电压电机:200to240V/380to460V的宽领域电压用一个电机对应。
低振动构造:与滑阀型相比较振动较低。非常适合在建筑物较高楼层使用。
采用强制给油方式:大气压附近的排气速度也很稳定。非常适用于大气⇔真空的反复连续运转。
空冷及水冷可选:根据环境选用。采用了油冷却器使油温下降。
油雾分离器内置:过滤芯式油雾分离器内置于油罐。
维修性考虑:油罐内的清洁及油雾分离器的更换都很容易。
用途
・蒸发设备・溅射设备・离子镀膜设备
・分析设备・检漏设备
・气体交换・液体注入
・真空干燥・冷冻干燥・真空脱气・真空隔热
・真空吸附・真空成型
・其他各种真空设备
规格
型号 | VS1501 | VS2401 | ||||
设计排气速度 | 50Hz | m3/h ( L/min ) |
150 ( 2,500 ) | 240 ( 4,000 ) | ||
60Hz | 180 ( 3,000 ) | 288 ( 4,800 ) | ||||
到达压力 *1 | GP 关 | Pa | ≦5.3 | |||
GP 开 | ≦80 | |||||
电机 *2 | 电机类型 | 全封闭外扇形三相感应电动机 |
||||
高效率等級 | IE3 | |||||
出力 | kW ( 极数 ) | 5.5 ( 4 ) | 7.5 ( 4 ) | |||
电压 | 50Hz | V | 200~240 / 380~415 | |||
60Hz | 200~240 / 380~460 | |||||
使用油 |
ULVOIL R-72
|
|||||
油量 | L | 8.0 ~ 10.5 | ||||
冷却方式 | 水冷 | |||||
冷却水 | 一次侧压力 | Mpa | ≦ 0.5 | |||
吸气 / 排气口差压 | Mpa | ≦ 0.1 | ||||
冷却水量 | L/min | 4 | 5 | |||
冷却水温 | ℃ | 5 ~ 30 | ||||
吸气口 JIS B 2290 | VG80 相当 | |||||
排气口 JIS B 2290 | VG50 相当 | |||||
外形尺寸 WxDxH | mm | 333x919x460 | 333x1039x460 | |||
重量 *3 | kg | 240 | 280 | |||
符合规格 | - | |||||
标准附属品 | 泵所需油量,使用说明书 | |||||
选配件 | TM-3 ( VS ) | TM-4 ( VS ) | ||||
油雾收集器、气镇阀、回油机构 |
Note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
5.3 Pa = 4 × 10-2 Torr
*1 用皮拉尼真空计测定。 (使用 McLeod真空计测量时约为 5.3 x 10-1 Pa 。)
*2 出厂设置为 200V 级 Δdelta 连接。 如果工作电压为 400V 级,请更改为 Y型连接。
*3 这是组装全封闭风扇冷却的三相感应电动机时的净重。
型号 | VS650B-A | VS650B-W | VS750B-A | VS750B-W | VS650B-WL *1 |
||||
设计排气速度 | 50Hz | m3/h ( L/min ) |
650 ( 10833 ) | 750 ( 12500 ) | 600 ( 10,000 ) |
||||
60Hz | 750 ( 12500 ) | 不適用 n/a | |||||||
到达压力 *2 | GP 关 | Pa | ≦ 8.0 | ||||||
GP 开 | ≦ 70 | ||||||||
最大水蒸气 允许压力 |
GP 开 | 50Hz | Pa | 4,500 | 2,500 | 5,500 | 2,500 | 2,500 | |
60Hz | 5,500 | 2,500 | 不適用 n/a | ||||||
最大水蒸气容量 | GP 开 | 50Hz | g/h | 17 | 11 | 24 | 13 | 11 | |
60Hz | 24 | 13 | 不適用 n/a | ||||||
电机 *3 | 电机类型 | 全封闭外扇形三相感应电动机 | |||||||
高效率等級 | IE3 | ||||||||
出力 |
kW |
22 ( 4 ) | |||||||
电压 | 50Hz | V | 200 ~ 240 / 380 ~ 415 | ||||||
60Hz | 200 ~ 240 / 380 ~ 460 | 不適用 n/a | 200 ~ 240 / 380 ~ 460 |
||||||
使用油 | ULVOIL R-72 | ||||||||
油量 | L | 23 ~ 27 | 25 ~ 30 | 23 ~ 27 | 25 ~ 30 | 25 ~ 30 | |||
冷却方式 | 空冷 | 水冷 | 空冷 | 水冷 | 水冷 | ||||
冷却水 | 一次侧压力 | Mpa | - | ≦ 0.5 | - | ≦ 0.5 | ≦ 0.5 | ||
吸气/排气口差压 | Mpa | - | ≦ 0.1 | - | ≦ 0.1 | ≦ 0.1 | |||
冷却水量 | L/min | - | ≦ 3.0 | - | ≦ 3.0 | ≦ 3.0 | |||
冷却水温 | ℃ | - | 5 ~ 30 | - | 5 ~ 30 | 5 ~ 30 | |||
吸气口 ISO ( JIS B 2290 ) | DN 100 ISO-K ( VG100 选项 ) | ||||||||
排气口 ISO ( JIS B 2290 ) | DN 100 ISO-K ( VG100 选项 ) | ||||||||
外形尺寸 WxDxH | mm | 1490× 905×705 |
1490× 841×705 |
1490× 905×705 |
1490× 841×705 |
1490× 841×705 |
|||
重量 | kg | 806 | 800 | 802 | 796 | 820 | |||
符合规格 | - | ||||||||
标准附属品 | 泵所需油量,使用说明书 | ||||||||
选配件 |
油雾过滤器、其他类型的油气镇阀、ISO法兰、 |
||||||||
Note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
8.0 Pa = 6 × 10-2 Torr
*1 VS650B-WL 时,需要指定 50 Hz 或 60 Hz 的频率。 通过更换电动机皮带轮,可以在 50 Hz/ 60 Hz 时达到相同的排气速度。
*2 用皮拉尼真空计测定。 (使用 McLeod真空计测量时约为 0.8 Pa 。)
*3 出厂设置为 200V 级 Δdelta 连接。 如果工作电压为 400V 级,请更改为 Y型连接。
排气速度曲线
尺寸图
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