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油回转真空泵
VS 系列
VS300A-W
アルバック
VS300A-W是旋片式（单级）的油旋转真空泵。在同类产品中占地面积最小，可直接搭载机械增压泵。另外，内置了油雾过滤器和回油装置，排气性能长期稳定。此外，设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便宜性。
特点
- 同类产品中占地面积最小
□874×404mm 设计紧凑。 - 可直连机械增压泵（MBP）
使用MBP安装组件可无需框架直接搭载MBP。 - 内置油雾过滤器
回油装置亦内置。 - 不易向外部漏油的构造
油封和轴封两级密封，防止向外部漏油。
用途
- 光学膜蒸镀设备
- 反射器蒸镀设备
- 装饰用蒸镀设备
- 薄膜卷绕蒸镀设备
- 内嵌溅射设备
- 烘烤炉 /热处理炉
- 冻干设备
- 检漏设备
规格
| 型号 | VS300A-W | |||
| 设计排气速度 | 50Hz | m3 / hr ( L/min ) |
250 (4,166) | |
| 60Hz | 300 (5,000) | |||
| 极限压力*１ | GP关 | Pa | ≦15 | |
| GP开 | ≦200 | |||
| 功耗(极限压力时） | 50Hz | kW | 2.8 | |
| 60Hz | 3.1 | |||
| 电机 | 型号 | 全封闭风冷 三相感应电机 | ||
| 容量 | kW (Poles） | 7.5（４） | ||
| 电压 | 50Hz | V | 200～240 / 380～415 | |
| 60Hz | 200～240 / 380～460 | |||
| 噪音值*２（极限压力时） | 50Hz | dB | 70 | |
| 60Hz | 74 | |||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||
| 所需油量 | L | 10～15 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | |||
| 冷却水 | 初压 | MPaG | ≦0.3 | |
| 出入口压差 | ≧0.1 | |||
| 冷却水量 | L/min | ≧3.0 | ||
| 冷却水温度 | ℃ | 5～30 | ||
| 冷却水Δｔ | ≦25 | |||
| 吸气口法兰 | DN 63 ISO-F | |||
| 排气口法兰 | G2 | |||
| 重量 | kg | 270 | ||
| 外观尺寸 W×D×H | mm | 404×871×585 | ||
| 海外安全标准 | CE、 cTUVus | |||
注意：本资料采用SI测量单位。
*1 到达极限压力（GP关）后会进行慢泄。关闭慢泄阀，真空度≦8Pa。
*2 平均声压级根据ISO2151进行测量・计算。
排气速度曲线
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