油回转真空泵 VS1501 / VS2401
ULVAC
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VS1501／VS2401 是旋片式（单级）的油旋转真空泵。水冷和强制给油的方式使得在高负荷下的排气性能也得以稳定。
此外还采用了大型油位计并在设计之初考虑了维保的便捷性。
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VS1501
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VS2401
特点
- 水冷和强制给油
在高负荷运转下也能满足缸体的供油，排气性能比压差给油更稳定。 - 使用油压油防吸系统
泵停转时，可以防止油从油箱倒吸至吸气端。 - 维保便捷性
除使用了可时刻监测油状态的大型油位计外，还设计了油箱清洗、更换排气阀等时的便捷盖。
用途
- 光学膜蒸镀设备
- 反射器蒸镀设备
- 装饰用蒸镀设备
- 薄膜卷绕蒸镀设备
- 内嵌溅射设备
- 烘烤炉 /热处理炉
- 冻干设备
- 检漏设备
规格
| 型号 | VS1501 | VS2401 | |||
| 设计排气速度 | 50Hz | m3 / hr (L/min) | 150（2500） | 240（4000） | |
| 60Hz | 180（3000） | 288（4800） | |||
| 极限压力 | GP关 | Pa | ≦ 5.3 | ||
| GP开 | ≦ 80 | ||||
| 功耗(极限压力时） | 50Hz | kW | 2.3 | 2.8 | |
| 60Hz | 2.9 | 3.6 | |||
| 电机 | 型号 | 全封闭风冷 三相感应电机 | |||
| 容量 | kW (Poles） | 5.5（4） | 7.5（4） | ||
| 电压 | 50Hz | V | 200～240 / 380～415 | ||
| 60Hz | 200～240 / 380～460 | ||||
| 噪音值*1（极限压力时） | 50Hz | dB | 67 | 73 | |
| 60Hz | 67 | 73 | |||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | ||||
| 所需油量 | L | 8～10.5 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||
| 冷却水 | 初压 | MPaG | ≦0.5 | ||
| 出入口压差 | ≧0.1 | ||||
| 冷却水量 | L/min | ≧4.0 | ≧5.0 | ||
| 冷却水温度 | ℃ | 5～30 | |||
| 冷却水Δｔ | ≦10 | ||||
| 吸气口法兰 | JIS VG80 | ||||
| 排气口法兰 | JIS VF50 | ||||
| 重量 | kg | 232 | 271 | ||
| 外观尺寸 W×D×H | mm | 300×941×460 | 333×1061×460 | ||
| 海外安全标准 | ー | ||||
注意：本资料采用SI测量单位。
※1 平均声压级根据ISO2151进行测量・计算。
排气速度曲线
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尺寸图
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