摆动阀

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摆阀是采用ULVAC独特技术开发的大型闸阀。
兼容显示器贴膜设备等大型真空设备。

摆动阀

VFR

是基于ULVAC独创的技术开发的大型摆动阀(门阀)。
可对应显示器成膜设备等大型真空设备。

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摆动阀

VFR-400

是基于ULVAC独创的技术开发的大型摆动阀(门阀)。
可对应显示器成膜设备等大型真空设备。

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摆动阀

VFR-500

是基于ULVAC独创的技术开发的大型摆动阀(门阀)。
可对应显示器成膜设备等大型真空设备。

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