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摆动阀
双动式
VFR 系列
VFR
アルバック
是基于ULVAC独创的技术开发的大型摆动阀(门阀)。
可对应显示器成膜设备等大型真空设备。
可对应显示器成膜设备等大型真空设备。
特点
- ULVAC独创的技术
采用独特的密封机构和反向压力消除机构，不是使用机械锁定机构。
极少采用会导致partical产生的滑动部件
在打开/关闭或密封时几乎没有冲击（振动） - 良好的维护性
无需从设备或泵上拆下整个阀门即可单独拆下阀壳
可以在壳体移除后，仅移除一个螺栓来移除整个阀体单元 - 可任意选择安装方向
VFR系列安装方向360度自由
用途
- 大型显示制造设备
- 有机EL制造设备
- 其他真空设备的主阀・分阀
规格
| 型号 | VFR-400 | VFR-500 | |
| 公称口径 | Φ400mm | Φ500mm | |
| 连接法兰（相当于JIS B2290） | VF400 | VF500 | |
| 开闭规格 | 2 位置 | ||
| 开闭动作原理 | 压缩空气工作式 | ||
| 开闭动作时间（2位置规格） | 8sec | 12sec | |
| 阀片密封性能 | 支持逆压 | ||
| 阀板密封最大允许压差(正压) | 0.12 MPa | ||
| 阀板密封最大允许压差(反压) | 0.12 MPa | ||
| 开关时最大允许压差(正压) | 0.5 kPa | ||
| 开关时最大允许压差(反压) | 0.5 kPa | ||
| 开放电导 | 50000L/s | 90000L/s | |
| 使用压力范围 | 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs) | ||
| 允许烘烤温度 （静止时） |
阀体 | < 120℃ (248F) | |
| 汽缸 | < 80℃ (176F) | ||
| 动作环境温度 | 10 to 80℃ (50 to 176F) | ||
| 使用流体温度 | 10 to 80℃ (50 to 176F) | ||
| 汽缸供应压缩空气压力 | 0.50 to 0.70MPaG (72.5 to 101.5psi, 5.0 to 7.0bar) | ||
| 压缩空气供应口径 | Φ8管接头 | ||
| 维护周期 | 100,000 | ||
| 安装姿态 | 自由 | ||
| 主要部件材质 | 阀体 | AC4CH-T6 | |
| 阀片 | AC4CH-T6 | ||
| 密封部件材质 | 真空侧 | 氟橡胶 | |
| 油脂类 | Z300 | ||
| 重量 | 98kg | 155kg | |
| 面之间的尺寸 | 150mm | 170mm | |
尺寸图
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