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真空ポンプ(低・中真空)

真空ポンプ(高真空)

真空計

ガス分析計(プロセスガスモニタ)

リークディテクタ

高速分光エリプソメータ

触針式プロファイラ (日本国内のみ販売)

水晶発振式成膜コントローラ

真空バルブ

DC電源

DCパルス電源

MF電源

RF電源

EBガン・EB電源

真空搬送ロボット

分子間相互作用定量QCM装置

微量精密撹拌機

小型成膜装置

低温機器(CRYO)

熱処理・熱物性評価装置

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