ご購入後のお問い合わせ

真空ポンプ（低・中真空）

• スクリュー型ドライ真空ポンプ
• 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
• スクロール型ドライ真空ポンプ
• ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
  • スタンダードタイプ（1段型）
    • Model: DAP-12S
    • Model: DAP-18S-DC24
    • Model: DA-30S
    • Model: DA-60S
    • Model: DAT-100S
    • Model: DA-40S
    • Model: DA-81S
    • Model: DA-120S
    • Model: DA-241S
    • Model: DAL-361S
  • スタンダードタイプ（2段型）
    • Model: DAP-6D
    • Model: DAP-9D-DC24
    • Model: DA-15D
    • Model: DA-30D
    • Model: DAT-50D
    • Model: DA-20D
    • Model: DA-41D
    • Model: DA-60D
    • Model: DA-121D
    • Model: DAL-181D
  • ケミカルタイプ
    • Model: DTC-22
    • Model: DTC-41
    • Model: DTC-22K
    • Model: DTC-60
    • Model: DTC-41K
    • Model: DTC-120
  • 高真空タイプ
    • Model: DAU-20
    • Model: DAU-100
    • Model: MD4UNT
  • 高真空・ケミカルタイプ
    • Model: DTU-20
    • Model: MD4UCNT
  • 減圧・加圧両用タイプ
    • Model: DAP-15
    • Model: DAP-30
• 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
• 回転翼型ドライ真空ポンプ
• 油回転真空ポンプ
  • スタンダードタイプ（1段型）
    • Model: G-5SA
    • Model: G-25SA
    • Model: G-50SA
    • Model: G-101S
  • スタンダードタイプ（2段型）
    • Model: G-5DA
    • Model: G-10DA
    • Model: G-20DA
    • Model: G-50DA
    • Model: G-101D
  • マグネットカップリングタイプ
    • Model: Gv135
    • Model: Gv200
    • Model: GHD-031
    • Model: GHD-101
  • 高機能タイプ
    • Model: GLS-051
    • Model: GLD-040
    • Model: GLD-051
    • Model: GLD-137AA
    • Model: GLD-137CC
    • Model: GLD-202AA
    • Model: GLD-202BB
    • Model: GLD-280A
  • ケミカルタイプ
    • Model: GCD-051X
    • Model: GCD-136X
    • Model: GCD-201X
• メカニカルブースタポンプ
• 排気ユニット
• 真空ポンプ油
• オプションパーツ
  • 防振ゴム
    • 防振ゴムModel:KA-20
    • 防振ゴムModel:KA-25
    • 防振ゴムModel:ME-10
    • 防振ゴムModel:ME-12
    • 防振ゴムModel:ME12cut
    • 防振ゴムModel:MEｰ15
    • 防振ゴムModel:ME15cut
    • 防振ゴムModel:ME-20
    • 防振ゴムModel:ME-25
  • メンテナンスキット
    • メンテナンスキット Model:DA-121D用
    • メンテナンスキット Model:DA-15D/30S用
    • メンテナンスキット Model:DA-15S用
    • メンテナンスキット Model:DA-20D/40S用
    • メンテナンスキット Model:DA-241S用
    • メンテナンスキット Model:DA-30D/60S用
    • メンテナンスキット Model:DA-41D/41DK用
    • メンテナンスキット Model:DA-60D/120S/DAH-60用
    • メンテナンスキット Model:DA-81S/81SK用
    • メンテナンスキット Model:DAL-181D用
    • メンテナンスキット Model:DAL-361S用
    • メンテナンスキット Model:DAP-15用
    • メンテナンスキット Model:DAP-30用
    • メンテナンスキット Model:DAP-6D/12S用
    • メンテナンスキット Model:DAT-100S用
    • メンテナンスキット Model:DAT-50D用
    • メンテナンスキット Model:DAU-100用
    • メンテナンスキット Model:DAU-20用
    • メンテナンスキット Model:DOP-181S用
    • メンテナンスキット Model:DOP-300S/SA/301SA/SB/SVB用
    • メンテナンスキット Model:DOP-400SA/400SB用
    • メンテナンスキット Model:DOP-40D用
    • メンテナンスキット Model:DOP-420S用
    • メンテナンスキット Model:DOP-80S用
    • メンテナンスキット Model:DSB-150用
    • メンテナンスキット Model:DSB-151用
    • メンテナンスキット Model:DSB-250/251用
    • メンテナンスキット Model:DSB-450用
    • メンテナンスキット Model:DSB-451用
    • メンテナンスキット Model:DSB-600/601用
    • メンテナンスキット Model:DTC-120用
    • メンテナンスキット Model:DTC-20/21/21K用
    • メンテナンスキット Model:DTC-22/22K用
    • メンテナンスキット Model:DTC-60用
    • メンテナンスキット Model:DTC-40/41/41K用
    • メンテナンスキット Model:DTU-20用
  • 真空配管用部品
    • クイックカップリング付きフランジ（ISO63×KF40）
    • 真空ゴムホース(内径12×外径30)
    • 真空ゴムホース(内径15×外径36)
    • 真空ゴムホース(内径18×外径42)
    • 真空ゴムホース(内径25×外径50)
    • 真空ゴムホース(内径6×外径18)
    • 真空ゴムホース(内径7.5×外径20)
    • VCRアダプタ SCA-1612-F
    • 真空ゴムホース(内径9×外径24)
    • VCRアダプタ SCA-1612-M
    • VCRアダプタ SCA-1614-F
    • VCRアダプタ SCA-1614-M
    • VCRアダプタ SCA-1638-F
    • VCRアダプタ SCA-1638-M
    • VCRアダプタ SCA-2512-F
    • VCRアダプタ SCA-2512-M
    • VCRアダプタ SCA-2514-M
    • VCRアダプタ SCA-2514-F
    • VCRアダプタ SCA-2538-F
    • VCRアダプタ SCA-2538-M
    • クイックカップリングクランプ SCK-1025
    • クイックカップリングクランプ SCK-1016
    • クイックカップリングクランプ SCK-1040
    • センターリング SCK-2016
    • センターリング SCK-2025
    • センターリング SCK-2040
    • ノズル SCK-2512
    • ノズル SCK-2518
    • KFフランジ SCK-3016
    • KFフランジ SCK-3025
    • KFフランジ SCK-3040
    • ブランクフランジ SCK-4016
    • ブランクフランジ SCK-4025
    • ブランクフランジ SCK-4040
    • ニップル SCK-5016
    • ニップル SCK-5025
    • ニップル SCK-5040
    • エルボ SCK-6016
    • エルボ SCK-6025
    • エルボ SCK-6040
    • ティ SCK-7016
    • ティ SCK-7025
    • ティ SCK-7040
    • クロス SCK-8016
    • クロス SCK-8025
    • レジューサー SCK-9025
    • レジューサー SCK-9040
    • ゲージポート（Φ15×KF25）
    • ゲージポート（Φ15×KF40）
    • ゲージポート（Φ18×KF25）
    • ゲージポート（Φ18×KF40）
    • リークポート SCO-3016
    • フレキシブルチューブ STK-016-1000
    • リークポート SCO-3025
    • フレキシブルチューブ STK-016-250
    • フレキシブルチューブ STK-016-500
    • フレキシブルチューブ STK-025-1000
    • フレキシブルチューブ STK-025-250
    • フレキシブルチューブ STK-025-500
    • フレキシブルチューブ STK-040-500
    • フレキシブルチューブ STK-040-250
    • フレキシブルチューブ STK-040-1000
    • ホース口付きフランジ（VF100×φ27）
    • ホース口付きフランジ（VF100×φ30）
    • ホース口付きフランジ（VF100×φ38）
    • クイックカップリング付きフランジ（VF100×KF40）
    • クイックカップリング付きフランジ（VF100×KF25）
    • ホース口付きフランジ（VF25×φ15）
    • ホース口付きフランジ（VF25×φ18）
    • クイックカップリング付きフランジ（VF25×KF16）
    • クイックカップリング付きフランジ（VF25×KF25）
    • クイックカップリング付きフランジ（VF40×KF40）
    • ホース口付きフランジ（VF65×φ18）
    • ホース口付きフランジ（VF65×φ27）
    • ホース口付きフランジ（VF65×φ30）
    • クイックカップリング付きフランジ（VF65×KF25）
    • クイックカップリング付きフランジ（VF65×KF40）

真空ポンプ（高真空）

• クライオポンプ
• スーパートラップ
• ターボ分子ポンプ
• スパッタイオンポンプ
• 油拡散ポンプ
• 排気ユニット
• 高真空ポンプ油

真空計

• ピラニ真空計
• 熱陰極電離真空計
• 冷陰極電離真空計
• キャパシタンスマノメータ
• オプション・消耗品

ガス分析計（プロセスガスモニタ）

• スパッタリングプロセス
• ベーシックプロセス
• ハイパフォーマンスプロセス
• ハイプレッシャープロセス
• 大気圧環境プロセス
• CVD / ALD / Etchingプロセス
• ガス分析計用ソフトウェア

リークディテクタ

• スタンドアロン
  • Model:HELIOT900
    • Model: HELIOT901W1
    • Model: HELIOT901D2
    • Model: HELIOT904W2
    • Model: HELIOT904D3R
    • Model: HELIOT904D4R
• システム搭載用
• 校正リーク
• オプション・消耗品
  • スニファーユニットシリーズ
    • Model: AS9
    • Model: BS9
    • Model: BT9

高速分光エリプソメータ

• 手動タイプ
• 自動タイプ
• ビルトインタイプ
• オプション

【販売終了】触針式プロファイラ

• 【販売終了】触針式プロファイラ

成膜コントローラ

• 水晶式成膜コントローラ
• シングルセンサ
• マルチセンサ
• 水晶板
• オプショ ン

真空バルブ

• 真空アングルバルブ
• 振り子バルブ

プラズマ発生用電源

真空蒸着用電子銃

• 電子銃
  • フラットトップ_金属用電子銃_Model:EGN
    • Model: EGN
  • 実験用_金属用電子銃_Model:EGK
    • Model: EGK
  • 金属用電子銃_Model:EGL
    • Model: EGL
  • 光学用電子銃_Model:EGO
    • Model: EGO
  • 電子銃_オプション
    • EBオプション
• 電子銃用電源
  • 電子銃用電源_Model:HPS
    • Model: HPS

真空搬送ロボット

• 真空搬送ロボット
  • Model:COVOT
    • Model: COVOT
  • Model:ELEC-RZ
    • Model: ELEC-RZ

小型成膜装置

• • Model: VPC-061
  • Model: VPC-061A
  • Model: VPC-260F
  • Model: VPC-1100
  • Model: VFR-200M/ERH
  • Model: VWR-400M/ERH
  • Model: VTR-350M/ERH
  • Model: VTS-350M/ERH
  • Model: VTR-060M/ERH
• • Model: VTR-151M/SRF
  • Model: RFS-201
• • 蒸発電源 Model: SEREM PSE-150C
  • ベルジャーカバー
  • ベルジャーホルダー
  • 防着板
  • 金属ベルジャー
  • 電極仕切り板
  • 基盤加熱装置350℃

低温機器(CRYO)

• 極低温冷凍機
  • Model: PDC08
  • Model: PD016
  • Model: S030
  • Model: S050
  • Model: RM10T
  • Model: RM20T
  • Model: RM50T
  • Model: RM80T
  • Model: RMS10T
  • Model: RMS50T
  • Model: RMS80T
  • Model: RMS150T
  • Model: HE05
  • Model: UHE10
  • Model: UHE15
• 希釈冷凍機
• 液体窒素ジェネレーター
  • Model: EMP-07A
  • Model: EMP-07W
  • Model: EMP-14A
  • Model: EMP-14W
  • Model: EMP-20W
  • Model: MP-300K
• クライオスタット
• 熱処理・熱物性評価装置