真空ポンプ(低・中真空)の基礎知識

ドライポンプとは?

電子、半導体産業のニーズに応えるポンプ

ドライポンプとは、油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプです。

FPD・電子・半導体産業などの分野では、製品の歩留まり改善、メンテナンス性の改善のためドライポンプが必要となってきています。その中の代表的なポンプに、ルーツ型ドライ真空ポンプがあります。

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ルーツ型ドライ真空ポンプの技術が使われています!

FPD製造装置・半導体製造装置・真空蒸留・精製脱ガス・殺菌・乾燥 脱水・消毒 など

ルーツ型ドライ真空ポンプの特徴

多段構造のルーツ型ドライ真空ポンプ

ルーツ型ドライ真空ポンプとは、多段のメカニカル・ブースターポンプを一体化したドライ真空ポンプ。三つ葉のロータを用いたルーツ型ドライ真空ポンプでは、一軸に多段のロータを接続することで、大気圧まで圧縮・排気が可能なポンプとなっています。

長所  クリーンな真空を得れらる、大気圧から到達圧力まで使用可能

短所  

ルーツ型ドライ真空ポンプの仕組み

高速回転するロータよって気体を輸送

このポンプは、ケーシングと呼ばれる箱の中に三つ葉のロータ(回転体)が2つ入っており、一対のギアによって互いに反対方向に同じ周期で回転しています。ロータ同士、またロータとケーシングは接触することがなく、わずかな隙間を保ちながら回転して気体を移送圧縮します。ロータを多段構造にし、大気圧まで圧縮し、大気中に排気します。ロータ・ケーシング内には油等の封液は使用しておらずクリーンな排気が可能です。ギヤやベアリングには潤滑のために油を使用しておりますが、シール構造を工夫し油がケーシング内に入らないようにております。

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HOW TO

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