真空ポンプ(低・中真空)の基礎知識

メカニカルブースタポンプとは?

他ポンプと組み合わせて力を発揮

メカニカルブースタポンプは排気速度を飛躍的に増大させる働きをもったポンプです。

油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。

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メカニカルブースタポンプの技術が使われています!

半導体プロセス、真空蒸留、真空包装、脱ガス、薄膜、真空冶金、 低密度風洞実験、宇宙開発、真空含浸、真空乾燥 など

メカニカルブースタポンプの特徴

別のポンプと組み合わせて幅広く利用されている

このポンプは、油回転真空ポンプやドライポンプとの組み合わせで使用する事により排気速度の大幅アップと到達圧力を低くする事を目的としてよく利用されます。

長所  10KPa~0.1Paにおいて排気速度を飛躍的に増大

短所  逆流がある

メカニカルブースタポンプの仕組み

2つの繭が気体を押し出す

ケーシング内にある2個のマユ型ロータが、その軸端の駆動ギアに入り互いに反対方向に同期回転するようになっています。吸気口から入った気体はケーシングとロータ間の空間に閉じ込められ、ロータの回転で排気口側に排出され、後段の補助ポンプで大気中に放出されます。

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メカニカルブースタポンプとは?

油回転真空ポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度の落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。

メカニカルブースタ真空ポンプの外観を写真に示します。ケーシング内にある2個のマユ型ロータがその軸端の駆動ギアにより互いに反対方向に同期回転します。

吸気口から入った気体はケーシングとロータ間のわずかな空間に閉じ込められ、ロータの回転で排気口側に排出され、後段の補助ポンプで大気中に放出されます。

ロータはロータ同士およびケーシングと接触することなく、わずかな隙間(0.1~0.3mm)を保ちながら回転し、気体を輸送するので、ロータ室内には潤滑油を必要としません。したがって油蒸気による汚染の少ない真空排気が可能です。またロータは高速回転が可能で、ケーシングとの間に摩擦の心配はありません。

この形式のポンプは、大気圧に放出するほかの形式のポンプ(たとえば油回転真空ポンプ)を補助ポンプとして使用し、高真空側に用います。到達圧力は、0.5~5Paと広範囲にわたって安定した性能を発揮できる特長をもっています。

メカニカルブースタ真空ポンプの外観

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