真空ポンプ(低・中真空)の基礎知識

スクリュー型ドライ真空ポンプとは?

平行する2つのスクリューロータがケーシングの内壁及びロータ相互間に僅かな隙間を保ちながら回転することで、ロータとケーシング間に形成される空間が軸方向に連続移送される。

吸気口よりこの空間に気体を吸入し、排気側へ送る過程で圧縮して移送することで排気される。
スクリューロータは、矩形、スパイラキシャル形、リショルム形などがある。

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長所  大気圧から到達圧力まで各圧力域において、連続運転が可能

短所  単段圧縮のため内部温度が高くなりやすく吸気ガスの制約を受ける場合がある

HOW TO

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