真空ポンプ(低・中真空)の基礎知識

スクロール型ドライ真空ポンプとは?

スクロール型ドライ真空ポンプの外観を写真に示します。

スクロール型ドライ真空ポンプの外観

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スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータおよびロータの運動の組み合わせによって、排気するドライ真空ポンプです。

図にスクロール真空ポンプの構造を示します。

スクロール型ドライ真空ポンプの構造

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同じ形をした2個のスクロールが中心を少しずらして壁が互いに線接触する状態で、一方に対して他方が相対的に揺動みそすり運動をするようになっており、三日月型の空間に閉じ込められた気体が中心部に向かって圧縮されて、中心部の穴から吐出される構造になっています。 通常、圧縮工程は2回以上にわたって行われるように設計されているため、低振動で低騒音です。

到達圧力は1Paに達するものがあります。 用途面も真空乾燥装置、理化学分析機器、真空吸着搬送装置、真空熱処理炉など幅広い分野で使用されています。

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