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2020年11月20日

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分光エリプソメータ発売10周年を記念して、UNECS-Portableが
いまなら4,980,000円でご提供!

100nm以下の極薄膜の膜厚評価は
難しいと感じていませんか?

100nm以下の膜厚評価の壁

「光学膜厚計では極薄膜の信頼性が乏しい...」
一般的な反射分光式(光干渉)などの光学膜厚計では、100nm以下の膜厚では信頼性が低下してしまい、特に10nm以下の膜厚では正確な測定が難くなります。

「触針式では、膜の無い部分を作る段差の作成が面倒...その上、極薄膜だと10nm程度が限界...」
触針式の段差計では、最表面の形状を触針先端を接触させながら測定するため、どうしても段差の作成(膜の有る部分と膜の無い部分を作る)が必要となります。膜厚も10nm程度が限度と言われ、段差を上手く作成しないと測定できない場合も起こります。

「TEMやSEMなど電子顕微鏡では、切断や表面処理の試料作成など時間もコストもかかる...」
TEMやSEMなどの電子顕微鏡では断面を観察するために試料を切断したり、表面処理を施すなど手間がかかる破壊検査となります。特にTEMなどは装置自体も高額です。

「分光エリプソメータは高価で取り扱いも難しいイメージがある...」
分光エリプソメータは光の偏光状態の変化を捉えて膜厚を解析するため、他の光学式に比べて極薄膜の測定では非常に高い感度を期待できます。その一方、測定や解析に時間を要したり、レシピ設定(モデル作成)や解析の方法が複雑。しかも導入、ランニングのコストも高いイメージで、気軽に使用できる測定器ではないと感じていませんか?

しかし、
アルバックの高速分光エリプソメータ"UNECSシリーズ"なら100nm以下の薄膜評価が思いのまま!
今ならUNECS-Portableを特別価格で導入いただけます!

アルバックの"UNECSシリーズ"は従来の分光エリプソメータに対するネガティブなイメージを払拭いたします。

  • 非接触・非破壊で1nmからの極薄膜の膜厚評価を高精度に行う事ができます。
  • 最速20msからの高速測定。サンプル数が多い場合や分布評価などで評価時間を大幅に短縮する事ができます。
  • シンプルで操作性の高いソフトウェア設計とすることで、レシピ設定、測定、解析が簡単に行えます。
  • 光学定数(屈折率、消衰係数) や多層膜(最大6層)の評価ができます。
  • 駆動部が一切無い独自のシンプルな光学系は定期的なメンテナンスの必要はありません。また、消耗品の光源ランプはお客様で簡単に交換ができるため、最小限のコストで運用できます。

測定例1. 極薄膜でも薄膜値の良好な相関性

HfO2膜2.5nm及び6.0nmについて、UNECSとTEM(透過型電子顕微鏡)にて膜厚値を比較した例です。

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測定例2. 有機薄膜でも良好な相関性

OLED材料alq3の4種類のサンプルで膜厚値を触針プロファイラと比較し良好な相関性を確認しました。

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測定例3. 簡単なレシピ設定!高速自動マッピング

自動ステージモデル(UNECS-1500A/2000A/3000A)では、簡単な座標レシピ設定にて膜厚の自動マッピング測定を短時間で行う事ができます。測定結果は数値一覧のほか、2Dカラーマップおよび3Dで表示も可能です。

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導入前の無償サンプリングはいかがですか?

導入にお悩みなら、まずは無償サンプリングはいかがでしょうか?
専任の技術担当が検証を行い結果をご報告いたします。
訪問や面談が困難な場合、検査対象品をご郵送いただければWeb会議システムでもご対応させていただきます。

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