水晶式成膜コントローラ CRTM-R1シリーズが
2022年度日本真空工業会(JVIA)表彰の真空コンポーネント・部品・材料部門賞を受賞

一般法人日本真空工業会が主催する、2022年度日本真空工業会(JVIA)表彰が2023年5月26日におこなわれ、『真空コンポーネント・部品・材料部門賞』に水晶式成膜コントローラCRTM-R1シリーズが選ばれました。

関連サイト：日本真空工業会(JVIA)　https://jvia.gr.jp/

今回、受賞しました水晶式成膜コントローラ『CRTM-R1 シリーズ』は、独自の測定原理Impedance方式を採用し、レートの安定、周波数がとばない、水晶板が長寿命、水晶板の異常検知を実現。最大8元までの同時蒸着制御 に対応します。表示や操作性だけでなく装置生産性の改善を可能にする機器性能はもちろんのこと、使う立場の「便利」を追求し開発しました。

この開発は、初代水晶式成膜コンローラCRTMの販売開始から40年以上が経過し、今まで培ってきた技術を更に進化させるため、製品の肝となる周波数の測定方式の変更というミッションがあり、大きなチャレンジでした。これにより独自の測定原理Impedance方式を確立し、成膜の信頼性を大幅に向上させることに成功、有機EL蒸着装置向けにCRTM-R1-EL、金属蒸着装置向けにCRTM-R1が誕生しました。

本製品の開発にあたり、ご助言頂きましたお客様、ご協力頂きましたサプライヤの皆様、そして開発に携わった関係者の方々へ感謝致しますと共に、この受賞の喜びを報告させていただきます。
誠にありがとうございました。今後もお客様のご要望にお応え出来る商品開発を目指し、より一層精進したいと思います。