成膜用新型デジタルDC電源に搭載可能なオプション機能を開発・販売開始

貴社益々ご清栄のこととお慶び申し上げます。
平素は格別のお引き立てを賜り厚くお礼申し上げます。
さて、この度、以下の製品を販売開始することになりましたのでご案内申し上げます。
今後とも、弊社、ULVAC商品をお引き立て頂けますよう、宜しくお願い致します。

製品概要

5月に発売を開始した成膜用新型デジタルDC電源「DC-10-D」「DC-10-DH」および「DC-20-D」「DC-20-DH」に追加搭載できる、お客様のニーズに合わせた４つのアップグレードパッケージ（もしくはユニット）の販売を開始します。
今回販売するパッケージには、他のDC電源では見られないユニークで高性能な機能が搭載されています。お客様がこれまで解消できなかったプロセスの問題解決や膜の性能向上につながる新機能です。

一つ目のパッケージの機能は、「High performance RAMP」です。
放電前の出力（イグニッション動作）を制御することで、放電開始時の急激な出力変化を抑制し、放電直後から安定した状態を得ることができる機能です。
従来よりDC電源におけるRAMP機能と言えば、放電後の出力制御が一般的です。そこで我々は放電前の出力制御に着目しました。
通常では放電後に出力制御を行うので、安定した放電状態が得られないことがあります。この新機能では放電前より出力（イグニッション動作）制御をすることで、放電開始時に瞬間的に高くなる電力を抑制でき、放電の安定化を実現できます。

二つ目のパッケージの機能は、「High control accuracy」です。
これは設定に対する高精度出力、かつ、正確な連続繰り返し再現性を実現した機能です。
設定出力の保証値範囲は、標準機では10～100％の範囲で、10％未満は非保証範囲となりますが、このパッケージを追加した機器では保証値は1％から保証しています。またオン・オフを何千・何万回と繰り返すプロセスでも出力のばらつきが少なく、高い再現性を保つことが出来ます。

三つ目のパッケージの機能は、「High Speed ARC handing」です。
世界トップレベルの5μ秒のＡＲＣ遮断時間を実現した新ＡＲＣ制御機能です。
DC電源は異常放電を感知すると瞬間的に出力遮断しますが、この遮断時間が長いと放電を復帰させることができなくなる場合があります。
本パッケージ機能は、遮断時間を最大限短くすることができ、放電維持を容易にしプロセスの安定化を実現できます。また短遮断時間は、成膜材料クリーニングのためのプレスパッタ時間短縮も期待できます。

四つ目のパッケージの機能は、「Superior performance ARC handing」です。
異常放電の感知後の出力遮断時間をDC電源自身が異常放電レベルを判断し、最適な遮断が実行できる機能です。
一般的なDC電源では１パターンの遮断設定しかできません。しかしその遮断がその時の状況に適切ではないことが多々あり、その後の成膜プロセス効率が低下したり、すぐに異常放電が再発生して遮断を繰り返したりする場合があります。この新機能は、DC電源自身が異常放電に対する最適な遮断を判断することで、異常放電の再発生確率を下げ、成膜プロセスの効率化を図ることが期待できます。
これらの機能は、一つのDC電源に単体でも複数でも、任意に追加できるパッケージとなっています。また、すでにお使いの納入電源に後から追加することも可能です。

これからも上記の機能にとどまらず、"世の中のほしい機能"をリリースしていきます。

今後もULVACの電源を宜しくお願い致します。

RAMP説明

出力再現性（σ：0.74W）

ARC遮断時間の自動判断