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真空蒸着に欠かせない水晶板と成膜コントローラ

半導体や電子、光学、近年では有機ELなど幅広い分野で使用されている真空蒸着法による成膜ですが、膜厚やレート（蒸着速度）を正しく制御する事は品質管理の面で重要な要素です。知っている様で知らない事も多い真空蒸着での膜厚の制御と測定方法についての基本を解説していきます。

皆さんは日々どのような手法で膜厚・レートの制御、測定をされていますでしょうか？

・蒸着中の膜厚・レートの制御でお困りではありませんか？
・蒸着後の膜厚測定にお困りではありませんか？

本講座では真空蒸着にスポットをあて、蒸着中の膜厚・レートの制御及び蒸着後の膜厚測定手法について解説していきます。
また、最新のアルバック成膜コントローラ『CRTM-R1』についてもご紹介します。

主な内容

• 真空蒸着装置内で何がおきているか
• 蒸着中の膜厚・レート制御の役割
• 蒸着後の膜厚と膜質評価
• 最新の成膜コントローラ

ご参加いただくメリット

現在、真空蒸着に携わっている方々、これから成膜をはじめられる方々へ向け、膜厚・レート制御の基本となる成膜コントローラの役割や機能、さらに膜厚測定の基本となる段差計やエリプソメータについても分かりやすく解説します。

オンラインですので、ご自宅からでもご参加いただける無料のセミナーです。

御社の社員研修や社内教育にご活用頂くことも可能です。

いますぐ、下記のお問い合わせフォームからお申し込みください。

『真空蒸着における膜厚の制御と測定』概要

(*1) 当日の進行によって、お時間が若干前後する場合がございますので、ご了承ください。
(*2) Zoomを使用いたしますので、あらかじめインストールをお願いいたします。Zoomに関するご質問にはご回答いたしかねます。ご了承ください。
(*3) 次のいずれかに該当すると弊社が判断した場合、ご参加をお断りしております。理由についてはご回答いたしかねますので、あらかじめご了承ください。
(a)一部の弊社製品と競合する製品をお取り扱いの企業にお勤めの方
(b)フリーメールをご使用の方
(c)反社会勢力であると判明した場合
(d)申し込み時に登録頂いた情報が不完全、または当社で確認が出来ない場合
(e)その他、ほかのお客様に迷惑を及ぼし、又は円滑な実施を妨げるおそれがある場合
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