初めてでもわかる! プロセスガスモニタの基礎ガイド

皆様は、プロセスガスモニタや質量分析計、分圧計、MASS、RGAという単語を耳にしたことはありませんか。
実はこれらはすべて同じ計測機器を指しています。

これらプロセスガスモニタは、『分圧』というキーワードを用いて説明されますが、この『分圧』とはそもそも何か、分圧計と真空計の違いは何か、またプロセスガスモニタを導入することでどのようなメリットがあるか、イメージが湧きにくかった経験はありませんか。

アルバックは、真空総合メーカーとして、プロセスガスモニタを50年以上取扱い、進化させるべく開発をし続けています。
そして、今年10月には最新機種が発売されました。これを記念し、真空機器をご使用になっている皆様に向けて、図解でわかる「プロセスガスモニタの基礎ガイド」資料を用意しました。

本資料は、活用事例から近年のトレンドまでプロセスガスモニタの最新情報についてもわかる特別資料となっています。

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