DC電源|製品情報|ULVAC SHOWCASE

DC電源

スパッタ用DC電源として設計されたものです。アプリケーションも含んだノウハウを入れ込んだ汎用性の高い安定した電源です。様々な特徴を持ったDC電源をラインナップしています。

種類

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  • 小容量DC電源
  • 大容量DC電源
  • 異常放電防止ユニット
  • デュアルカソード用バイポーラユニット

最大定格電力

定格電圧

発振周波数

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製品情報

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