A2KH-25|A2Kシリーズ|異常放電防止ユニット|DC電源|製品情報|ULVAC SHOWCASE

異常放電防止ユニット

A2Kシリーズ

A2KH-25

アルバック

A2K シリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。
既設装置にも簡単に取り付け可能で、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。

特長

  • 高スループット
    異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能
  • 基板ダメージの低減
    アーク起因の基板ダメージを低減可能
  • 基板温度の抑制
    RFスパッタリングに比べ基板温度の抑制が可能
  • 簡易な接続性
    既存の装置にも接続が可能 *1
  • 逆パルス周波数の変更可
    A2KH-25:1kHz ~ 20kHz、A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHzの範囲で可能
  • パルス同期システム
    複数台のA2Kの出力パルス同期が可能 *2 *3
  • マスタースレーブ接続により大容量化が可能
    A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能

応用:パルス同期システム

a2kdata.jpg

同一チャンバー内でカソードが近接しており、カソードが対向、もしくは複数台のA2Kの放電が干渉している時には、位相制御機能をご使用頂くことでA2Kの逆パルスを同相にし、放電の干渉を防止させることが可能です *3 *4

*1:弊社DC電源との接続が可能
*2:A2KH-25、A2K-20K、40Kの混在使用によるパルス同期および 並列運転はできません
*3:A2KH-25は外部同期ユニット(PHSM/PHSS)が必要
*4:A2K-20K/40Kは光同期ケーブル(Pulse link cable)が必要

用途

  • FPD用反応性スパッタリング装置
  • 産業コーティング用反応性スパッタリング装置
  • カラーTFT用反応性スパッタリング装置

仕様

型式 A2KH-25 A2K-20K A2K-40K
制御電源入力 入力 AC90~110V AC100~240V
周波数 単相 50/60Hz 50/60Hz
電力 100VA 400VA
漏洩電流 1mA以下
入力仕様 動作電圧 -100~-800V
動作電流 0~25A 0~50A 0~100A
入力構造 コネクタ接続 コネクタ接続
出力仕様 パルス幅 5μs/10μs 内部スイッチで切替 1~18μs ※周波数制限有
発振周波数 ・パルス幅 5μs選択時の周波数:
 2,5,10,15,20kHz
・パルス幅 10μs選択時の周波数:
 1,2.5,5,7.5,10kHz
1~50KHz
1KHz毎に可変
逆パルス電圧 DC電源出力電圧の10~20%(負荷インピーダンスに依存)
耐圧 連続 -1500Vdc
並列運転機能 無し 最大6台まで可能 *5
冷却方式 強制空冷
外形寸法(W×D×H) 238×450×149mm 483×630×177mm
質量 16kg 30kg 45kg
適合規格 RoHs指令

動作周囲温度5℃~40℃(結露なき事)
動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと
*5: A2K-20KとA2K-40Kの混在使用は不可

該非判定結果報告書
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オプションパーツ・消耗品

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