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デュアルカソード用バイポーラユニット

MFUシリーズ

MFU-20K

アルバック

MFU-20KはULVAC製DC電源に追加することにより、直流出力をバイポーラパルス出力に変換するユニットです。
低コストでの歩留まり・スループットの向上を実現します。

特長

  • 広い周波数範囲
    10kHz~100kHzの範囲で可能 ※1
  • マスター/スレーブ接続により大容量化が可能
    最大6台までの並列運転が可能
  • DC出力も可能
    入力DC電源の出力をそのままカソードに印加することが可能 ※2

用途

  • FPD用反応性スパッタリング装置
  • 産業コーティング用反応性スパッタリング装置
  • カラーTFT用反応性スパッタリング装置
  • スパッタリング装置全般

仕様

型式 MFU-20K
制御電源入力 入力電圧 AC100V/AC240V
変動範囲 AC90~264V
相数、周波数 単相 50/60Hz
入力容量 400VA
入力仕様 動作電圧 0~-1000V※1
イグニッション電圧 -1200V
動作電流 50A
出力仕様 最大出力電圧 1000V(RMS)※1
イグニッション電圧 DC-1200V
最大出力電流 50A
発振周波数 10k~100kHz※2
デューティー 10~90%※3
冷却方式 強制空冷
外形寸法(W×D×H) 483mm×630mm×177mm(突起物含まず)
質量 37kg
適合規格 CE/SEMI F47/RoHS指令

動作周囲温度 5℃~40℃(結露なき事)
動作環境 過電圧カテゴリーⅡ、汚染度Ⅱ、直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと
※1:800Vを超える出力をする場合には、発振周波数の制限があります。
※2:60kHzを超える発振周波数では、出力電力・電圧・電流が制限されます。
※3:発振周波数によって、デューティーの制限があります。

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