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大容量DC電源
DC-20-AM
アルバック
DC-10およびDC-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。
信頼性のある部品と回路で構成しております。長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
信頼性のある部品と回路で構成しております。長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
特長
- 軽量・省スペース
設置性に優れた軽量・省スペース設計。 - 出力電圧範囲が選択可能
800V仕様に加えて1000V仕様もラインアップ。 - 豊富なアークハンドリング
プラズマを熟知した豊富なアーク制御方式。 - 冷却水不要
強制空冷方式のため冷却水が不要。 - 高速アーク遮断回路を搭載可能
標準でも低アークエネルギーを実現。さらにオプションで高速アーク遮断回路を搭載可能。 - 自由な並列運転機能を搭載可能
DC-10、DC-20：オプションの並列運転機能により自由に10kWと20kWを組み合わせて最大12台までの並列運転が可能。（最大240kW）
用途
- FPD用スパッタリング装置
- 半導体用スパッタリング装置
- タッチパネル用スパッタリング装置
- 産業コーティング用スパッタリング装置
仕様
| 型式 | DC-10-AM | DC-10-H-AM | DC-10-4-AM | DC-20-AM | DC-20-H-AM | DC-20-4-AM | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC187～229V | 3相 AC342～440V | 3相 AC187～229V | 3相 AC342～440V | ||
| 入力容量 | 13.5kVA以下 | 25kVA以下 | |||||
| 出力仕様 | 最大定格電力 | 10kW | 20kW | ||||
| 定格電流 | 25A | 18A | 25A | 50A | 40A | 50A | |
| 定格電圧 | -800V | -1000V | -800V | -800V | -1000V | -800V | |
| イグニッション電圧 | -1500V | ||||||
| 異常放電制御 | 異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断 | ||||||
| 制御 | 制御方式 | 定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御） | |||||
| 制御精度 | 定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方 定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方 定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方 |
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| 制御保証範囲 | 定格電力量の10～100% | ||||||
| 外部制御 | Analog/Digital, RS-232Cまたは485 | ||||||
| 並列運転 | 最大12台（10, 10H, -4の混在、および20, 20H, -4の混在は不可） | ||||||
| 冷却方式 | 強制空冷 | ||||||
| 外形寸法 W×D×H | 483×630×133mm (突起物含まず) | ||||||
| 質量 | 29kg | 36kg | |||||
| 適合規格 | CE/ SEMI F47/ RoHS指令 | ||||||
