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大容量DC電源
DC-30-44H-E
アルバック
30kWハイインピーダンス仕様スパッタリング用DC電源です。
特長
- 高速アーク遮断回路により超低アークエネルギーを実現。生産性や歩留まり向上に貢献します。
- ハイインピーダンス負荷に対応した1200V出力。
- EtherCATに対応し、装置の省配線に貢献します。
用途
- FPD用スパッタリング装置
- 半導体用スパッタリング装置
- タッチパネル用スパッタリング装置
- 産業コーティング用スパッタリング装置
仕様
| 型式 | DC-30-44H-E | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC396V～484V |
| 入力容量 | 41.5kVA以下 | |
| 出力仕様 | 最大定格電力 | 30kW |
| 定格電流 | 55A | |
| 定格電圧 | -1200V | |
| イグニッション電圧 | -1500V | |
| 異常放電制御 | 異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断 | |
| 制御 | 制御方式 | 定電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御） |
| 制御精度 | 定電力制御（P制御）：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方 定電流制御（I制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方 定電圧制御（V制御）：定格出力の±1%以下または設定値の±2%のどちらか大きい方 |
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| 制御保証範囲 | 定格電力量の10～100% | |
| 外部制御 | Analog/Digital, RS-232Cまたは485, EtherCAT | |
| 並列運転 | 最大12台 | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | |
| 外形寸法 W×D×H | 483×650×177mm (突起物含まず) | |
| 質量 | 45kg | |
| 適合規格 | CE/ SEMI F47/ RoHS指令 | |
