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小容量DC電源
DCS0052B
アルバック
スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。
また、異常放電防止ユニット（A2K）との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。
また、異常放電防止ユニット（A2K）との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。
特長
- 出力制御性の向上（定格の1～100％での運転可能）
- タップ切替えなしで広範囲な出力範囲
- 2種類の異常放電検出機能を標準搭載
- アイソレーションによる外来ノイズ対策（オプション）
- 3つの運転モード（定電力・定電流・定電圧制御）が選択可能
- +100Vまでフローティング可能
用途
- Al、Ni等の金属のスパッタリング用、バイアス用のDC電源として使用できます。
仕様
| 形式 | DCS0052B | |
| 最大出力電力 | 500W | |
| 出力範囲 | 電力 | 5W～500W |
| 電圧 | 80V～800V | |
| 電流 | 0.0012A～1.25A | |
| 外形寸法 (WDH) mm | 240 x 450 x 99 | |
| 質量 | 9kg | |
