小容量DC電源
DSCシリーズ
DCS0052B
アルバック
スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。
また、異常放電防止ユニット(A2K)との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。
また、異常放電防止ユニット(A2K)との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。
特長
- 出力制御性の向上(定格の1~100%での運転可能)
- タップ切替えなしで広範囲な出力範囲
- 2種類の異常放電検出機能を標準搭載
- アイソレーションによる外来ノイズ対策(オプション)
- 3つの運転モード(定電力・定電流・定電圧制御)が選択可能
- +100Vまでフローティング可能
用途
- Al、Ni等の金属のスパッタリング用、バイアス用のDC電源として使用できます。
仕様
形式 | DCS0052B | |
最大出力電力 | 500W | |
出力範囲 | 電力 | 5W~500W |
電圧 | 80V~800V | |
電流 | 0.0012A~1.25A | |
外形寸法 (WDH) mm | 240 x 450 x 99 | |
質量 | 9kg |
ダウンロード
カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。
ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。
すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。
この製品に関するお問い合わせ