DCパルス電源

スパッタ用DC PULSE電源として設計されたものです。反応性スパッタなどの用途において異常放電の抑制などの効果が期待できます。様々な特徴を持ったDC PULSE電源をラインナップしています。

最大定格電力

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定格電圧

発振周波数

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製品情報

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