アルバックグループの
成膜コントローラ
成膜コントローラの導入・購入・検討について
水晶式成膜コントローラは、薄膜製造プロセスにおいて膜厚やレートをリアルタイムで高精度に測定・制御するための機器です。水晶振動子を利用して成膜中の質量変化を検出し、正確な膜厚を算出します。これにより、有機デバイスや半導体、光学デバイスなど、精密な膜厚が求められる分野での品質向上と生産効率の向上を実現します。
ポンプ種類
水晶式成膜コントローラ
水晶式成膜コントローラCRTMシリーズは、豊富な経験に基づいて開発された製品です。特にCRTM-R1シリーズは、独自の「Impedance方式」を採用し、膜厚測定性能を向上させています。これにより、より安定した成膜プロセスを実現し、高品質な成膜を提供します。有機プロセスにおいては専用機であるCRTM-R1-ELをご使用頂ければ長時間の安定的な成膜を実現する事が可能です。
水晶式成膜コントローラ
CRTM-R1
2022年度日本真空工業会「真空コンポーネント・部品・材料部門賞」受賞
CRTM-R1はアルバックが長年培ってきた技術を基に開発された水晶式成膜コントローラです。新しい測定方式の採用により、従来機以上のレート安定性と高分解能を実現しています。金属膜から光学膜まで幅広い蒸着プロセスにお役立ていただけます。
水晶式成膜コントローラ
CRTM-R1-EL
2022年度日本真空工業会「真空コンポーネント・部品・材料部門賞」受賞
CRTM-R1-ELは有機EL蒸着プロセスやペロブスカイト太陽電池蒸着プロセス用に最適化された水晶式成膜モニタです。
新しい測定方式を採用し、高分解能とレート安定性の大幅向上を実現しています。
水晶式成膜コントローラ
CRTM-6000G
CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。
ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。
シングルセンサ
水晶式成膜コントローラ用センサCRTSシリーズのシングルセンサは、水晶板への冷却効率を最大限に高めた設計が特長です。さらに、工具を使わずに簡単に水晶板を交換できる構造により、メンテナンス時間を大幅に短縮します。これにより、成膜プロセスの効率と信頼性を向上させ、安定した運用をサポートします。
マルチセンサ
水晶式成膜コントローラ用センサCRTSシリーズのマルチセンサは、複数の水晶板を搭載可能で、メンテナンス時間を大幅に削減します。水晶板の切替には、信頼性の高い真空用ステッピングモータを使用しており、精度の高い切替が可能です。有機蒸着や光学蒸着ではマルチセンサを使用し、連続成膜中に自動切換えする事が可能です。これにより、成膜プロセスの効率と精度を向上させ、安定した生産をサポートします。
水晶板
水晶板UCRシリーズは、蒸発源などの熱源からの影響を最小限に抑え、個体差も少ないため、正確な膜厚測定に最適です。有機材料向けには、独自の特許技術で製造された4MHz水晶板を使用し、低レート制御をサポートします。これにより、精密な成膜プロセスを実現し、品質向上に貢献します。
オプショ ン
水晶式成膜コントローラのCRTM-R1シリーズ用の測定用CTM、PCとCRTM-R1シリーズをケーブルで繋いで簡単に設定や測定が可能なCRTM Manager、CRTM-6000G用の水晶振動子を発振させる為のオシレータです。
オプショ ン
CTM, CTM用外部ケーブル (CRTM-R1専用)
水晶式成膜コントローラCRTM-R1専用品です。（他機種には使用不可）
CRTSセンサと接続し測定を行います。
CTM本体のほか、CRTSセンサ接続用のCTM補助ケーブル1本(0.5m）及びCRTM-R1接続用のCTM外部ケーブル1本（4m/8m/12m/16m/20mより選択）が付属します。
オプショ ン
CTM-D, CTM用外部ケーブル (CRTM-R1専用)
水晶式成膜コントローラCRTM-R1専用品です。（他機種には使用不可）
CRTSセンサを2本接続し、自動的に切り替えて測定を継続できます。（2本同時測定は不可）
CTM-D本体のほか、CRTSセンサ接続用のCTM補助ケーブル2本(0.5m）及びCRTM-R1接続用のCTM外部ケーブル1本（4m/8m/12m/16m/20mより選択）が付属します。
オプショ ン
CTM-EL, CTM用外部ケーブル (CRTM-R1-EL専用)
水晶式成膜モニタCRTM-R1-EL専用品です。（他機種には使用不可）
CRTSセンサと接続し測定を行います。
CTM-EL本体のほか、CRTSセンサ接続用のCTM補助ケーブル1本(0.5m）及びCRTM-R1-EL接続用のCTM外部ケーブル1本（可動タイプ：4m/8m/12m/16m/20mより選択）が付属します。
オプショ ン
CTM-EL-D, CTM用外部ケーブル (CRTM-R1-EL専用)
水晶式成膜モニタCRTM-R1-EL専用品です。（他機種には使用不可）
CRTSセンサを2本接続し、自動的に切り替えて測定を継続する事ができます。（2本同時測定は不可）
CTM-EL-D本体のほか、CRTSセンサ接続用のCTM補助ケーブル2本(0.5m）及びCRTM-R1-EL接続用のCTM外部ケーブル1本（可動タイプ：4m/8m/12m/16m/20mより選択）が付属します。
オプショ ン
CRTM Manager
New Product
水晶式成膜コントローラ専用(CRTM-R1/CRTM-R1-EL)の測定ソフトウェアとなります。
PCにソフトウェアをインストールしてCRTM本体とケーブルで繋ぐと測定データがPCで確認する事が出来ます。
また、設定等もPCで作成したものを本体に転送も可能です。
オプショ ン
OSC-12BG
水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズと接続するオシレータとケーブルです。*CRTM-R1シリーズには使用いただけません。
オシレータ(OSC-12BG)、補助ケーブルと外部ケーブルが含まれています。
オプショ ン
OSC-12DG
水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズと接続するオシレータとケーブルです。*CRTM-R1シリーズには使用いただけません。
オシレータ(OSC-12DG)、補助ケーブル、外部ケーブルとオシレータコントロールケーブルが含まれています。