水晶式成膜コントローラ
水晶式成膜コントローラの導入・購入・検討について
水晶式成膜コントローラCRTMシリーズは、豊富な経験に基づいて開発された製品です。特にCRTM-R1シリーズは、独自の「Impedance方式」を採用し、膜厚測定性能を向上させています。これにより、より安定した成膜プロセスを実現し、高品質な成膜を提供します。有機プロセスにおいては専用機であるCRTM-R1-ELをご使用頂ければ長時間の安定的な成膜を実現する事が可能です。
水晶式成膜コントローラ
CRTM-R1
2022年度日本真空工業会「真空コンポーネント・部品・材料部門賞」受賞
CRTM-R1はアルバックが長年培ってきた技術を基に開発された水晶式成膜コントローラです。新しい測定方式の採用により、従来機以上のレート安定性と高分解能を実現しています。金属膜から光学膜まで幅広い蒸着プロセスにお役立ていただけます。
水晶式成膜コントローラ
CRTM-R1-EL
2022年度日本真空工業会「真空コンポーネント・部品・材料部門賞」受賞
CRTM-R1-ELは有機EL蒸着プロセスやペロブスカイト太陽電池蒸着プロセス用に最適化された水晶式成膜モニタです。
新しい測定方式を採用し、高分解能とレート安定性の大幅向上を実現しています。
水晶式成膜コントローラ
CRTM-6000G
CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。
ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。