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水晶式成膜コントローラ
CRTM-R1シリーズ
CRTM-R1-EL
アルバック
2022年度日本真空工業会「真空コンポーネント・部品・材料部門賞」受賞
CRTM-R1-ELは有機EL蒸着プロセスやペロブスカイト太陽電池蒸着プロセス用に最適化された水晶式成膜モニタです。
新しい測定方式を採用し、高分解能とレート安定性の大幅向上を実現しています。
特長
- 新しい測定方式の採用でレート安定性が大幅に向上しています。
- Ability（CI値）の測定により水晶板の異常検知能力が向上しています。
- 最大8元同時の蒸着制御が可能です。(オプション追加時)
- 通信方式はEthernet及びRS-232Cに対応しています。
- 本体に保存した各種ログデータをCSV形式でUSBに転送可能です。
- Calc-Z機能を使用すると、Z-ratioが未知の材料でも自動で計算しながら成膜する事可能です。
用途
- 有機EL蒸着やペロブスカイト太陽電池蒸着プロセスでの膜厚、レート管理及び制御
仕様
| 周波数 | 測定レンジ | 4.00～3.00MHz@4MHz 5.00～3.50MHz@5MHz 6.00～4.50MHz@6MHz |
| 測定分解能 | 1mHz | |
| 表示分解能 | 1mHz | |
| 蒸着速度 (レート) | 測定レンジ*1 | 0.000～999.9Å/s (0～99.99nm/s) |
| 測定分解能*2 | 0.0028Å/s @4MHz 0.0018Å/s @5MHz 0.0012Å/s @6MHz |
|
| 表示分解能*1 | 0.001Å/s | |
| 膜厚 | 測定レンジ*1 | 0.000～9999kÅ (0～999.9μm) |
| 測定分解能*2 | 0.0028Å @4MHz 0.0018Å @5MHz 0.0012Å @6MHz |
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| 表示分解能*1 | 0.001kÅ | |
| 対応ｾﾝｻ周波数 | 4MHz､5MHz､6MHz | |
| 取り付け可能センサ数 (シングル) | 2 (オプションにてMAX8, IF CARD: 2点/枚×4枚) | |
| 取り付け可能センサ数 (マルチ) | 2 (オプションにてMAX8, IF CARD: 2点/枚×4枚) | |
| サンプリングレート | 100msec | |
| デポプログラム数 | 999 | |
| プロセスプログラム数 | 99 | |
| デジタル入力点数 | 14 (オプションにてMAX56, DIO CARD: 14点/枚×4枚) | |
| デジタル出力点数 | 8 (オプションにてMAX32, DIO CARD: 8点/枚×4枚) | |
| アナログ出力点数 | 2 (オプションにてMAX16, IF CARD: 2点/枚×4枚 + AOカート: 8点/枚×1枚) | |
| アナログ出力範囲 | -10～+10V | |
| 通信方式 | LAN (Ethernet) (1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T) RS-232C USB2.0 Type-B |
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| 外形寸法(幅×奥行き×高さ) | CRTM-R1-EL: 約480×約320×約130mm CTM-EL(-D) オプション: 約80×約152×約53mm |
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| 質量 kg | CRTM-R1-EL: 5.3kg (オプションにてMAX:5.8kg) CTM-EL(-D) オプション: 0.6kg |
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| ユーティリティ | AC 100～240V±10%, 50/60Hz | |
| 最大消費電力 | 150W | |
| 適合ヒューズ | 250V2.5A (5×20mm 2個) | |
| IP保護等級 | IP20 | |
| 過電圧カテゴリ | CAT.Ⅱ | |
| 高度条件 | 海抜2000m以下 | |
| 汚染度 | 2 | |
| 使用環境 | 温度5～40℃ 湿度20～85%RH (結露無き事) 室内のみ |
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| 保管環境 | 温度 -10～60℃ (非通電､結露無き事) 湿度20～85%RH (結露無き事) |
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| ウォームアップ時間 | 約30分 | |
| 適合規格 | CE | |
*1: Tooling=100､Density=1設定時の値です｡
*2: 周波数分解能をTooling=100､Density=1で換算した値です｡
オプション紹介
CRTM-R1-ELをご使用の際には、別途オプションのCTM-EL(-D)＋ケーブルセット及びセンサー、導入フランジ等が必要になります。
従来型CRTMと新型CRTM-R1-ELのレート比較
CRTM-R1-ELはノイズも少なく安定しています。
【 新型 CRTM-R1-EL 】
【 従来型 CRTM 】 
該非判定結果報告書
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SDSダウンロード
オプションパーツ・消耗品
水晶発振式成膜コントローラ【水晶板】
水晶板 UCR-5MAG-12
水晶板 UCR-5MAU-12
水晶板 UCR-4MAG-12
CRTM-R1専用品【外部ケーブル】
CTM, CTM用外部ケーブル (CRTM-R1専用)
CTM-D, CTM用外部ケーブル (CRTM-R1専用)
CRTM-R1-EL専用品【外部ケーブル】
CTM-EL, CTM用外部ケーブル (CRTM-R1-EL専用)
CTM-EL-D, CTM用外部ケーブル (CRTM-R1-EL専用)
