CRTM-6000G

アルバック

CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。
ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。

特長

膜厚・測定分解能	0.041 A (5 MHz) 0.029 A (6 MHz)
膜厚表示範囲/表示分解能	0.000～99.99 μm(0.000～999.9 kÅ)
蒸着速度表示範囲/表示分解能	0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 Å/s)
対応センサ周波数	5MHz, 6MHz
取り付け可能センサ数	シングルセンサ：2（同時計測は不可、切り替え式）マルチセンサ：1
サンプリングレート	125ms
多層膜数	99層
デポジションプログラム数	99
デジタル入力/出力	入力：12chプログラマブル出力：12chプログラマブル
アナログ出力	3chプログラマブル
外形寸法　　 W×D×H	240mm x 350mm x 99mm

水晶発振式成膜コントローラ【水晶板】

水晶板　UCR-5MAG-12 水晶板　UCR-5MAU-12 水晶板　UCR-4MAG-12

水晶発振式成膜コントローラ【オシレータ＆ケーブルセット】

オシレータ＆ケーブルセット　OSC-12BG オシレータ＆ケーブルセット　OSC-12DG

特長

優れた膜厚・成膜速度分解能により、成膜速度が低い場合の制御にも対応可能

サンプリングレートが125msと速いため、レスポンスの良い制御が可能

最大99層までの多層膜制御が可能

RS232Cを標準装備

シングルセンサを2本まで接続可能（切り替え式）

プログラム可能なデジタル入出力（各12ch）およびアナログ出力（3ch）を装備

仕様

膜厚・測定分解能	0.041 A (5 MHz) 0.029 A (6 MHz)
膜厚表示範囲/表示分解能	0.000～99.99 μm(0.000～999.9 kÅ)
蒸着速度表示範囲/表示分解能	0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 Å/s)
対応センサ周波数	5MHz, 6MHz
取り付け可能センサ数	シングルセンサ：2（同時計測は不可、切り替え式）マルチセンサ：1
サンプリングレート	125ms
多層膜数	99層
デポジションプログラム数	99
デジタル入力/出力	入力：12chプログラマブル出力：12chプログラマブル
アナログ出力	3chプログラマブル
外形寸法　　 W×D×H	240mm x 350mm x 99mm