マルチセンサ
マルチセンサの導入・購入・検討について
水晶式成膜コントローラ用センサCRTSシリーズのマルチセンサは、複数の水晶板を搭載可能で、メンテナンス時間を大幅に削減します。水晶板の切替には、信頼性の高い真空用ステッピングモータを使用しており、精度の高い切替が可能です。有機蒸着や光学蒸着ではマルチセンサを使用し、連続成膜中に自動切換えする事が可能です。これにより、成膜プロセスの効率と精度を向上させ、安定した生産をサポートします。
