マルチセンサ
CRTSシリーズ(multi)
CRTS-12NS
アルバック
CRTS-12NSは水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式のマルチセンサです。
5MHzクリスタルを12枚搭載可能ですので、長時間にわたる連続蒸着などにも安心してお使い頂けます。
5MHzクリスタルを12枚搭載可能ですので、長時間にわたる連続蒸着などにも安心してお使い頂けます。
特長
- 5MHz、ATカットクリスタルを12枚搭載可能
- 真空モータを採用した独自の駆動方式により、高い信頼性を実現
- クリスタルの交換は、ホルダごと脱着して行えるため簡単
- クリスタルの異常発振(寿命)を検知し、自動的にクリスタルの切り替えが可能(コントローラにCRTMシリーズを使用時)
用途
- 光学、光通信部品
- 有機EL
- 電子部品、その他
仕様
センサヘッド部 | |
搭載クリスタル数 | 12枚 |
対応クリスタル | 4MHz,5MHz ATカットクリスタル |
耐熱温度 | 350C° |
冷却水量 | 1L / min |
重量 | 2kg |
寸法 | Φ104mm x H 約61mm |
コントローラ部 | |
デジタル入力 | INIT, CNT, STOP |
デジタル出力 | Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END |
ユーティリティ | DC24V, 3.0A |
寸法 W×D×H | 100mm x 250mm x 99mm |