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マルチセンサ
CRTSシリーズ（multi）
CRTS-M6
アルバック
CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。
5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。
5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。
特長
- 5MHzまたは6MHzのクリスタルを6枚搭載可能
- 真空モータを採用した独自の駆動方式により、高い信頼性を実現
- クリスタルの交換は、ホルダごと脱着して行えるため簡単
- クリスタルの発振異常（寿命）を検知し、自動的にクリスタルの切り替えが可能（コントローラにCRTMシリーズを使用した場合）
- センサヘッドが小型（直径50mm)のため、蒸着装置への取り付けがフレキシブルです。
用途
- 光学、光通信部品の蒸着
- 有機物の蒸着
- 電子部品,その他の蒸着
仕様
| センサヘッド部 | |
| 搭載クリスタル数 | 6枚 |
| 対応クリスタル | 4MHz,5MHzまたは6MHz(選択式） ATカットクリスタル |
| 耐熱温度 | 350C° |
| 冷却水量 | 1L / min |
| 重量 | 1kg |
| 寸法 | Φ50mm x H 約89mm |
| コントローラ部 | |
| デジタル入力 | INIT, CNT, STOP |
| デジタル出力 | Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END |
| ユーティリティ | DC24V, 3.0A |
| 寸法 W×D×H | 100mm x 252mm x 99mm |
