オプショ ン
水晶式成膜コントローラ用測定ソフトウェア
CRTM Manager
アルバック
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水晶式成膜コントローラ専用(CRTM-R1/CRTM-R1-EL)の測定ソフトウェアとなります。
PCにソフトウェアをインストールしてCRTM本体とケーブルで繋ぐと測定データがPCで確認する事が出来ます。
また、設定等もPCで作成したものを本体に転送も可能です。
仕様
OS | Windows/10/11 | |
インターフェース | Ethernet/RS232C | |
対応機種 | CRTM-R1/CRTM-R1-EL | |
測定速度 | 100,200,300,400,500,1000,2000,3000,4000,5000,10000,20000,30000msec(ログの保存周期) | |
測定時間 | 連続、任意設定 | |
機能 | CRTMのリモート操作機能/ログ保存機能/レシピ保存・書き込み・読み出し機能/各種状態表示機能 | |
状態監視 | 測定状態/IOの入出力状態 | |
エラー情報 | ||
グラフ表示 | 縦軸:表示範囲選択[Rate(Å/s or nm/s)、POWER(%)] | |
横軸:時間のスクロール、保存データの表示 | ||
データ保存 | 自動保存 | |
ファイル名は測定開始時に年月日時間を表示 | ||
任意の保存場所・保存間隔の設定も可能 | ||
CSV形式での保存 | ||
PC要求仕様 | LANポート | いずれか1つ |
USBポート(2.0Type-Aもしくは2.0Type-C) | ||
CD-ROMドライブ | ||
Core i5 8ht Gen以上 ※32bit版では動作しません | ||
HDD空き容量15MB以上(ログファイルは含みません) | ||
RAM8GB以上 |