オプション

水晶板

UCR-4MAG-12

アルバック

ULVACの水晶発振式成膜コントローラ用センサに対応した水晶板UCRシリーズ。
周波数4MHz仕様を世界で初めてラインナップに加え、温度特性に優れ有機材料膜にも対応可能です。

特長

  • 有機材料膜に特化。マルチセンサで切替ながら使う用途に最適です。
  • 周波数5MHzよりも長寿命。
  • クラス最少の輻射熱による周波数変化で、成膜中の温度特性に優れています。
  • マルチセンサ(CRTS-12NS)対応の専用ケースにより、水晶板1枚ずつの取り出しの他、工具を使わずに12枚を即座に交換する事が可能です(特許出願中)

用途

  • 有機材料膜(OLEDパネル)

仕様

型式 UCR-4MAG-12 UCR-5MAU-12 UCR-5MAG12
推奨用途 有機材料膜(OLEDパネル) メタル膜、光学膜
周波数 4MHz 5MHz
寸法 φ12.4
電極 Ag Au Ag
対応成膜コントローラ CRTM-9200 CRTM-6000G/CRTM-9200
(上記を含むULVACが販売した全CRTMシリーズに対応)
搭載可能センサ シングルセンサ(CRTS-4, 6, 0, 4U, 6U)
マルチセンサ(CRTS-12NS, M6)
電極表面 鏡面仕上げ 標準仕上げ
梱包形態 マルチセンサ対応ケース(12pcs)

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました